微纳光纤环MOEMS加速度传感器理论与应用研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-32页 |
| ·加速度传感器概述 | 第10-14页 |
| ·加速度传感器的测量原理 | 第10-12页 |
| ·加速度传感器的发展 | 第12-14页 |
| ·MEMS加速度传感器 | 第14-22页 |
| ·微机械加速度传感器的发展 | 第14-16页 |
| ·典型的微机械加速度传感器 | 第16-22页 |
| ·MOEMS与MOEMS加速度传感器 | 第22-27页 |
| ·MOEMS的基本概念 | 第22-23页 |
| ·目前MOEMS加速度传感器的研究状况 | 第23-27页 |
| ·本文主要研究内容 | 第27-30页 |
| ·课题背景 | 第27页 |
| ·研究目标与主要工作 | 第27-30页 |
| 参考文献 | 第30-32页 |
| 第2章 微纳光纤环形谐振腔传输理论及特性研究 | 第32-59页 |
| ·亚微米直径微光纤的传输理论 | 第32-41页 |
| ·光在亚微米直径的微光纤中的传输理论 | 第32-34页 |
| ·微纳光纤的单模传输条件 | 第34-35页 |
| ·单模传输条件下微光纤中的基模能量分布 | 第35-39页 |
| ·微纳光纤传输中的群速和色散 | 第39-41页 |
| ·亚微米直径微光纤的拉制及特性分析 | 第41-45页 |
| ·亚微米直径微光纤的拉制 | 第41-43页 |
| ·拉制完成的微光纤的传输损耗和抗拉强度分析 | 第43-45页 |
| ·微纳光纤环形谐振腔的传输光谱特性 | 第45-54页 |
| ·基本方程和传输谱分析 | 第45-49页 |
| ·微光纤环形谐振腔的品质因素和精细度 | 第49-50页 |
| ·微光纤环形谐振腔的耦合系数对品质因素的影响 | 第50-53页 |
| ·传播空间的相对折射率对品质因素Q的影响 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 第3章 微光纤环形谐振腔的加速度传感理论 | 第59-72页 |
| ·微光纤环形谐振腔加速度传感原理 | 第59-64页 |
| ·微光纤环形谐振腔加速度传感理论 | 第60-64页 |
| ·MOEMS传感结构灵敏度和动态范围分析 | 第64页 |
| ·微光纤环测量加速度的信号探测方法 | 第64-70页 |
| ·加速度传感器输出光谱检测 | 第64-66页 |
| ·加速度传感器输出光强检测 | 第66-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-72页 |
| 第4章 MEMS传感结构设计与加工工艺研究 | 第72-100页 |
| ·MEMS加速度传感器的设计理论 | 第72-76页 |
| ·MEMS加速度传感器输出信号的信息组成 | 第76-79页 |
| ·简化的力学模型和动力学方程 | 第76-77页 |
| ·加速度传感器激励信号分析 | 第77-78页 |
| ·加速度传感器输出信号所包含的加速度信息 | 第78-79页 |
| ·微加速度传感器的主要性能指标以及测试方法 | 第79页 |
| ·传感系统微结构设计和仿真分析 | 第79-88页 |
| ·有限元方法概述 | 第79-80页 |
| ·传感结构的选择和参数设计 | 第80-83页 |
| ·传感结构的有限元分析结果 | 第83-88页 |
| ·MEMS传感结构的制作工艺研究 | 第88-97页 |
| ·选材和刻蚀工艺设计 | 第88-92页 |
| ·体硅湿法刻蚀工艺研究 | 第92-94页 |
| ·加工结果分析 | 第94-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 参考文献 | 第98-100页 |
| 第5章 MOEMS加速度传感器制作与实验研究 | 第100-124页 |
| ·微光纤环形谐振腔与MEMS传感结构的粘接 | 第100-104页 |
| ·制作微光纤环的微操作系统 | 第100-101页 |
| ·微光纤环与MEMS传感结构粘接的微操作 | 第101-104页 |
| ·MOEMS加速度传感器输出光谱的测量 | 第104-108页 |
| ·MOEMS加速度传感器的输出光谱分析 | 第104-106页 |
| ·微光纤环形谐振腔输出光谱的实测结果 | 第106-108页 |
| ·MOEMS加速度传感器模拟高g值输出光谱的测量 | 第108-111页 |
| ·MOEMS加速度传感器重力场翻转的输出光强测量 | 第111-115页 |
| ·MOEMS加速度传感器输出光强的低频动态响应 | 第115-116页 |
| ·MOEMS加速度传感器温度效应的测试 | 第116-119页 |
| ·微光纤环形谐振腔的温度噪声分析 | 第119-120页 |
| ·MOEMS加速度传感器的其它主要噪声分析 | 第120-122页 |
| ·机械结构噪声(布朗Brownain噪声) | 第120-121页 |
| ·随机振动的噪声 | 第121页 |
| ·吸附与解吸附噪声的影响 | 第121-122页 |
| ·本章小结 | 第122-123页 |
| 参考文献 | 第123-124页 |
| 第6章 总结与展望 | 第124-128页 |
| ·论文总结 | 第124-125页 |
| ·未来工作和应用前景展望 | 第125-128页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第128-130页 |
| 致谢 | 第130页 |
