| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| ·课题背景 | 第10-14页 |
| ·极紫外多层膜光栅的产生与发展 | 第10-12页 |
| ·极紫外多层膜光栅的应用 | 第12-14页 |
| ·极紫外多层膜光栅的国内外研究现状及关键问题 | 第14-21页 |
| ·理论计算 | 第14-15页 |
| ·制作工艺 | 第15-19页 |
| ·衍射性能 | 第19-20页 |
| ·关键问题 | 第20-21页 |
| ·本课题的研究意义和研究内容 | 第21-22页 |
| ·课题的选取及研究意义 | 第21页 |
| ·课题的研究内容 | 第21-22页 |
| ·论文的结构安排 | 第22-23页 |
| 本章小结 | 第23-24页 |
| 第2章 极紫外多层膜光栅的衍射效率计算 | 第24-48页 |
| ·引言 | 第24-26页 |
| ·光栅槽形定义 | 第24-25页 |
| ·槽形与衍射效率计算 | 第25-26页 |
| ·标量衍射理论 | 第26-29页 |
| ·标量衍射理论的主要结论 | 第26-28页 |
| ·标量衍射理论的适用范围 | 第28-29页 |
| ·微分法 | 第29-42页 |
| ·微分法计算思路及流程 | 第29-39页 |
| ·实际槽形和粗糙度因素的算法实现 | 第39-42页 |
| ·算例 | 第42-47页 |
| ·算例一：TE 偏振和TM 偏振衍射效率的比较 | 第44-45页 |
| ·算例二：实际槽形（粗糙度）与理想槽形衍射效率的比较 | 第45页 |
| ·算例三：衍射效率与沟槽衍射效率、反射率之间的关系 | 第45-47页 |
| 本章小结 | 第47-48页 |
| 第3章 极紫外闪耀光栅浮雕衬底的制作工艺 | 第48-65页 |
| ·引言 | 第48-51页 |
| ·全息–离子束刻蚀工艺简介 | 第48-50页 |
| ·基于矩形掩模的氩氧混合离子束刻蚀工艺的提出 | 第50-51页 |
| ·刻蚀模型 | 第51-54页 |
| ·刻蚀过程的简化描述 | 第51-53页 |
| ·掩模高宽比对刻蚀槽形的影响 | 第53页 |
| ·离子束掠入射角及氧气分压对闪耀角的影响 | 第53-54页 |
| ·关键工艺步骤及槽形测量 | 第54-60页 |
| ·掩模最佳高宽比的确定 | 第54-56页 |
| ·矩形掩模高宽比的控制 | 第56-58页 |
| ·氩氧混合离子束刻蚀 | 第58-59页 |
| ·光栅的槽形测量及参数提取 | 第59-60页 |
| ·工艺实验结果与讨论 | 第60-64页 |
| ·不同掩模高宽比下的光栅槽形 | 第60-61页 |
| ·不同离子束掠入射角及氧气分压下的闪耀角 | 第61-63页 |
| ·其他工艺影响因素讨论 | 第63页 |
| ·工艺方法和刻蚀模型的适用范围 | 第63-64页 |
| 本章小结 | 第64-65页 |
| 第4章 极紫外多层膜闪耀光栅的衍射效率测量与分析 | 第65-77页 |
| ·引言 | 第65-67页 |
| ·测量装置 | 第65-66页 |
| ·测量方式 | 第66-67页 |
| ·衍射效率超过30%的多层膜闪耀光栅 | 第67-71页 |
| ·样品说明 | 第67-68页 |
| ·衍射效率测量结果与分析 | 第68-71页 |
| ·衍射效率与光栅槽形参数关系的理论分析与实验探索 | 第71-76页 |
| ·研究目的与研究思路 | 第71-72页 |
| ·光栅对照组及其沟槽衍射效率计算结果 | 第72-74页 |
| ·衍射效率测量结果 | 第74-75页 |
| ·讨论与结论 | 第75-76页 |
| 本章小结 | 第76-77页 |
| 第5章 其他类型的极紫外多层膜光栅 | 第77-85页 |
| ·引言 | 第77-78页 |
| ·衍射效率超过20%的多层膜矩形光栅 | 第78-82页 |
| ·矩形光栅的制作与槽形测量 | 第78页 |
| ·样品说明 | 第78-79页 |
| ·衍射效率测量结果与分析 | 第79-82页 |
| ·宽带多层膜光栅 | 第82-84页 |
| ·样品设计及参数 | 第82-83页 |
| ·反射率、衍射效率测量结果与分析 | 第83-84页 |
| 本章小结 | 第84-85页 |
| 第6章 总结与展望 | 第85-88页 |
| ·论文工作总结 | 第85-86页 |
| ·展望 | 第86-88页 |
| 参考文献 | 第88-95页 |
| 致谢 | 第95-96页 |
| 附录A 从AFM 数据中提取光栅参数的原理及说明 | 第96-104页 |
| 附录B 11-17nm 波段 SiO_2、Si、Mo 的折射率 | 第104-110页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第110页 |
