| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·三坐标测量机和三坐标测头简介 | 第8-10页 |
| ·三坐标测量机简介 | 第8页 |
| ·三坐标测头简介 | 第8-9页 |
| ·三坐标测头的发展方向 | 第9-10页 |
| ·非接触式测头 | 第10-13页 |
| ·激光三角法测头 | 第10-11页 |
| ·离焦法测头 | 第11-13页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 历代共焦测头介绍及相关问题分析 | 第14-26页 |
| ·共焦测头的测量原理 | 第14-17页 |
| ·主动调焦法测量原理 | 第14-15页 |
| ·振动透镜位移量与物镜聚光点位移量之间函数关系的推导 | 第15-17页 |
| ·历代测头的比较 | 第17-20页 |
| ·第一代共焦测头 | 第17-18页 |
| ·第二代共焦测头 | 第18-19页 |
| ·第三代共焦测头 | 第19页 |
| ·小结 | 第19-20页 |
| ·时间差法的测量原理 | 第20-22页 |
| ·小孔光阑偏离理想位置对测量精度的影响 | 第22-26页 |
| 第三章 GJ-4 型测头的系统结构设计 | 第26-55页 |
| ·音叉激振系统 | 第26-28页 |
| ·音叉结构尺寸的确定 | 第26-27页 |
| ·音叉的正反馈激励系统 | 第27-28页 |
| ·GJ-4 型测头的改进光路 | 第28-29页 |
| ·GJ-4 型测头中光学元件的选型 | 第29-37页 |
| ·非球面物镜 | 第29-31页 |
| ·光电接收器 | 第31-34页 |
| ·其他元件的选型 | 第34-37页 |
| ·GJ-4 型测头的机械结构设计 | 第37-47页 |
| ·测头的整体结构 | 第38-41页 |
| ·主要组件 | 第41-43页 |
| ·光电接收器的径向调节机构 | 第43-45页 |
| ·光电接收器的轴向调节机构 | 第45-46页 |
| ·小孔光阑的径向调节机构 | 第46页 |
| ·平行光的调节机构 | 第46-47页 |
| ·GJ-4 测头中电路部分的改变 | 第47-49页 |
| ·GJ-4 型测头中振动透镜位移量和系统焦平面之间的函数关系 | 第49-53页 |
| ·小结 | 第53-55页 |
| 第四章 GJ-4 型测头的安装与调试 | 第55-64页 |
| ·各个组件的安装 | 第55-58页 |
| ·激光器组件的安装 | 第55-56页 |
| ·平凸透镜组件的安装 | 第56页 |
| ·小孔光阑组件的安装 | 第56-57页 |
| ·非球面物镜组件 | 第57页 |
| ·光电接收器组件 | 第57-58页 |
| ·线圈组件的安装 | 第58页 |
| ·前期的安装调整 | 第58-59页 |
| ·小孔光阑的调节 | 第59-60页 |
| ·音叉的安装 | 第60页 |
| ·平行光的调节 | 第60-61页 |
| ·光电接收器的调节 | 第61-64页 |
| ·汇聚光点位于小孔不同位置的分析 | 第61-62页 |
| ·光电接收器的调节 | 第62-64页 |
| 第五章 实验 | 第64-69页 |
| ·新测头测量范围的确定实验 | 第64-65页 |
| ·新测头的可测角度的确定实验 | 第65页 |
| ·新测头对不同被测表面测量信号强度的实验 | 第65-66页 |
| ·新测头的重复性实验 | 第66-67页 |
| ·新测头的精度实验 | 第67-68页 |
| ·对小孔偏移所引起的误差对比实验 | 第68-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-70页 |
| ·主要工作总结 | 第69页 |
| ·技术展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |