首页--工业技术论文--一般工业技术论文--工程材料学论文--特种结构材料论文

脉冲激光沉积类金刚石薄膜过程中工艺参数对薄膜质量影响的研究

致谢第1-6页
摘要第6-8页
Abstract第8-15页
第一章 绪论第15-29页
   ·类金刚石薄膜第15-19页
   ·1 类金刚石薄膜的概念第15-16页
   ·2 类金刚石薄膜的分类第16页
   ·3 类金刚石薄膜的性能第16页
   ·4 类金刚石薄膜的应用第16-18页
   ·5 类金刚石薄膜存在的问题第18-19页
   ·脉冲激光沉积法第19-22页
   ·1 脉冲激光沉积原理第19-20页
   ·2 脉冲激光沉积法的特点第20-21页
   ·3 脉冲激光沉积设备第21-22页
   ·脉冲激光沉积类金刚石薄膜的研究第22-24页
   ·课题研究的目的与意义第24-29页
   ·1 课题研究的背景第24-26页
   ·2 课题研究的总目标第26-27页
   ·3 课题研究的主要内容第27-29页
第二章 类金刚石薄膜的表征方法第29-39页
   ·Raman 光谱检测第29-33页
   ·1 Raman 效应原理第29-31页
   ·2 仪器介绍第31页
   ·3 Raman 光谱分析类金刚石薄膜方法第31-33页
   ·原子力显微镜第33-35页
   ·1 原子力显微镜原理第33-35页
   ·2 仪器介绍第35页
   ·X 射线光电子能谱第35-38页
   ·1 X 射线光电子能谱原理第35-36页
   ·2 仪器介绍第36页
   ·3 X 射线光电子能谱表征类金刚石薄膜的方法第36-38页
   ·红外光谱第38-39页
   ·1 红外光谱应用原理第38页
   ·2 仪器介绍第38-39页
第三章 时间和距离对脉冲激光沉积类金刚石薄膜的影响第39-45页
   ·引言第39页
   ·实验内容与方法第39-40页
   ·实验结果与分析第40-42页
   ·结论第42-45页
第四章 氮气氛对脉冲激光沉积类金刚石薄膜的影响第45-64页
   ·引言第45页
   ·预实验第45-48页
   ·1 实验内容第45-46页
   ·2 实验结果与分析第46-48页
   ·不同氮气压强下实验第48-63页
   ·1 实验内容第48页
   ·2 XPS 检测结果与理论分析第48-54页
   ·3 Raman 光谱检测结果与理论分析第54-57页
   ·4 原子力显微镜的检测结果与理论分析第57-62页
   ·5 红外测试结果与理论分析第62-63页
   ·结论第63-64页
第五章 激光能量对脉冲激光沉积类金刚石薄膜的影响第64-74页
   ·引言第64页
   ·实验内容第64页
   ·实验结果与分析第64-73页
   ·1 XPS 测试结果与理论分析第64-68页
   ·2 Raman 光谱的检测结果与理论分析第68-69页
   ·3 AFM 检测结果与理论分析第69-72页
   ·4 红外透过谱测试结果与理论分析第72-73页
   ·结论第73-74页
第六章 在机械瓣膜上沉积的类金刚石薄膜和细胞相容性第74-79页
   ·引言第74页
   ·实验内容与方法第74-75页
   ·实验结果与分析第75-78页
   ·结论第78-79页
第七章 总结与展望第79-82页
   ·本文的主要工作和主要结论第79-80页
   ·主要创新点第80页
   ·今后的研究工作第80页
   ·展望第80-82页
参考文献第82-85页
附录第85-86页

论文共86页,点击 下载论文
上一篇:轿车车内声品质的主动控制方法研究
下一篇:掺杂VO_x薄膜制备及其性能研究