透明介质下Linnik型白光干涉测量方法研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 超精密检测技术 | 第9页 |
| 1.2 光学显微干涉法 | 第9-11页 |
| 1.2.1 白光扫描干涉法 | 第10-11页 |
| 1.2.2 白光光谱干涉法 | 第11页 |
| 1.3 表面形貌测量和薄膜厚度检测 | 第11-13页 |
| 1.3.1 表面形貌测量 | 第11-12页 |
| 1.3.2 薄膜厚度检测 | 第12-13页 |
| 1.4 透过透明介质测量的研究现状 | 第13-14页 |
| 1.5 论文主要内容 | 第14-16页 |
| 第2章 白光干涉基本理论 | 第16-24页 |
| 2.1 白光干涉基本原理 | 第16-17页 |
| 2.2 绝对距离 | 第17-18页 |
| 2.3 薄膜反射特性 | 第18-19页 |
| 2.4 相位提取方法 | 第19-21页 |
| 2.4.1 傅里叶变换法 | 第19-20页 |
| 2.4.2 时间相移法 | 第20-21页 |
| 2.5 白光扫描干涉法 | 第21-22页 |
| 2.5.1 插值法 | 第22页 |
| 2.5.2 重心法 | 第22页 |
| 2.6 透明介质对光路的影响 | 第22-23页 |
| 2.7 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 测试系统构建 | 第24-30页 |
| 3.1 系统整体设计 | 第24页 |
| 3.2 系统硬件 | 第24-28页 |
| 3.2.1 白光光谱干涉采集模块 | 第26-27页 |
| 3.2.2 白光扫描干涉采集模块 | 第27-28页 |
| 3.3 系统软件 | 第28-29页 |
| 3.3.1 数据采集流程图 | 第28-29页 |
| 3.3.2 数据处理流程图 | 第29页 |
| 3.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第4章 仿真实验及分析 | 第30-46页 |
| 4.1 相位提取方法仿真分析 | 第30-34页 |
| 4.1.1 FFT不同窗函数比较 | 第31-33页 |
| 4.1.2 FFT和TPS计算精度对比 | 第33-34页 |
| 4.2 等效厚度 | 第34-39页 |
| 4.2.1 等效厚度对不同厚度薄膜计算的影响 | 第35-38页 |
| 4.2.2 等效厚度恒定的必要性 | 第38-39页 |
| 4.3 波长偏移对不同厚度薄膜计算的影响 | 第39-43页 |
| 4.3.1 线性偏移 | 第40-41页 |
| 4.3.2 非线性偏移 | 第41-43页 |
| 4.4 物镜非线性相位对不同厚度薄膜计算的影响 | 第43-44页 |
| 4.5 等效厚度、波长偏移、物镜对测量的综合影响 | 第44-45页 |
| 4.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 白光光谱干涉实验结果与分析 | 第46-66页 |
| 5.1 绝对距离 | 第46-51页 |
| 5.1.1 无透明介质计算结果 | 第46-47页 |
| 5.1.2 加入透明介质计算结果 | 第47-51页 |
| 5.2 表面形貌测量 | 第51-55页 |
| 5.2.1 无透明介质计算结果 | 第52-54页 |
| 5.2.2 加入透明介质计算结果 | 第54-55页 |
| 5.3 薄膜测量 | 第55-63页 |
| 5.3.1 等效厚度非线性相位 | 第56-57页 |
| 5.3.2 物镜非线性相位 | 第57-58页 |
| 5.3.3 无透明介质计算结果 | 第58-61页 |
| 5.3.4 加入透明介质计算结果 | 第61-63页 |
| 5.4 透明介质厚度测量实验 | 第63-65页 |
| 5.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 第6章 白光扫描干涉实验结果与分析 | 第66-71页 |
| 6.1 标准台阶实验 | 第66-70页 |
| 6.1.1 无透明介质计算结果 | 第66-68页 |
| 6.1.2 加入透明介质计算结果 | 第68-69页 |
| 6.1.3 条纹对比度比较 | 第69-70页 |
| 6.2 本章小结 | 第70-71页 |
| 第7章 总结与展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
