| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第11-26页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 TCO薄膜的概述 | 第11-13页 |
| 1.2.1 TCO薄膜的透光性 | 第12页 |
| 1.2.2 透明导电薄膜导电性 | 第12-13页 |
| 1.3 透明导电薄膜产业的现状 | 第13-15页 |
| 1.3.1 全球透明导电薄膜的市场规模 | 第13-14页 |
| 1.3.2 透明导电薄膜的产业现状 | 第14-15页 |
| 1.3.3 透明导电薄膜的技术现状 | 第15页 |
| 1.4 国内靶材的发展现状及趋势 | 第15-17页 |
| 1.4.1 国内靶材的现状 | 第15-16页 |
| 1.4.2 靶材的发展趋势 | 第16-17页 |
| 1.5 ZnO的基本性质 | 第17-19页 |
| 1.5.1 ZnO的结构 | 第17-18页 |
| 1.5.2 ZnO的物理性质 | 第18页 |
| 1.5.3 ZnO的本征缺陷及掺杂 | 第18-19页 |
| 1.6 粉末冶金制备技术解析 | 第19-23页 |
| 1.6.1 粉体的制备技术(机械球磨) | 第19-21页 |
| 1.6.2 粉体压制成形技术 | 第21-22页 |
| 1.6.3 粉体烧结技术 | 第22-23页 |
| 1.7 薄膜的制备技术(PLD) | 第23-25页 |
| 1.7.1 脉冲激光沉积(PLD) | 第23-24页 |
| 1.7.2 脉冲激光沉积原理 | 第24-25页 |
| 1.8 本论文的研究内容及创新点 | 第25-26页 |
| 1.8.1 论文的研究内容 | 第25页 |
| 1.8.2 论文的创新点 | 第25-26页 |
| 第2章 实验步骤及性能测试方法概述 | 第26-33页 |
| 2.1 混合料的制备 | 第26-27页 |
| 2.2 靶材的成型 | 第27页 |
| 2.3 靶材的烧结 | 第27页 |
| 2.4 薄膜的制备步骤 | 第27-28页 |
| 2.5 实验设备及作用 | 第28-29页 |
| 2.6 掺杂ZnO靶材性能的测试手段 | 第29-33页 |
| 2.6.1 致密度、收缩率的测量与计算 | 第29-30页 |
| 2.6.2 靶材抗弯强度的测量与计算 | 第30-31页 |
| 2.6.3 显微硬度的测量 | 第31页 |
| 2.6.4 靶材物相分析手段 | 第31页 |
| 2.6.5 靶材断面形貌的观察 | 第31-32页 |
| 2.6.6 薄膜方块电阻的测量 | 第32页 |
| 2.6.7 混合粉料粒径分布的测量 | 第32页 |
| 2.6.8 薄膜透射率的测量 | 第32-33页 |
| 第3章 单组元掺杂ZnO靶材制备及性能的表征 | 第33-52页 |
| 3.1 确定坯体的脱胶制度 | 第33-35页 |
| 3.2 球磨时间对混合粉料性能的影响 | 第35-40页 |
| 3.2.1 球磨时间对TZO粉末微观形貌的影响 | 第35页 |
| 3.2.2 球磨时间对TZO粉末粒径的影响 | 第35-37页 |
| 3.2.3 球磨时间对TZO靶材致密度的影响 | 第37-39页 |
| 3.2.4 球磨时间对TZO靶材收缩比的影响 | 第39-40页 |
| 3.3 烧结温度 | 第40-43页 |
| 3.3.1 烧结温度对TZO靶材晶体结构的影响 | 第40-41页 |
| 3.3.2 烧结温度对TZO靶材微观形貌的影响 | 第41-42页 |
| 3.3.3 烧结温度对TZO靶材收缩率、致密度、显微硬度的影响 | 第42-43页 |
| 3.4 TiO_2掺杂量对TZO靶材性能的影响 | 第43-48页 |
| 3.4.1 TiO_2掺杂量对TZO靶材物相结构的影响 | 第44页 |
| 3.4.2 TiO_2掺杂量对TZO靶材断面形貌的影响 | 第44-45页 |
| 3.4.3 TiO_2掺杂量对TZO靶材致密度、抗弯强度、收缩率的影响 | 第45-47页 |
| 3.4.4 TiO_2掺杂量对TZO靶材电阻率的影响 | 第47-48页 |
| 3.5 铺粉烧结对TZO靶材性能的影响 | 第48-51页 |
| 3.5.1 埋烧法对TZO靶材密度的影响 | 第48-49页 |
| 3.5.2 埋烧法对TZO靶材显微硬度、抗弯强度、电阻率的影响 | 第49-51页 |
| 小结 | 第51-52页 |
| 第4章 Al_2O_3、TiO_2共掺杂ZnO靶材性能的表征 | 第52-70页 |
| 4.1 球磨时间对粉末性能的影响 | 第52-57页 |
| 4.1.1 球磨时间对TAZO粉末粒径的影响 | 第52-54页 |
| 4.1.2 球磨时间对TAZO粉末微观形貌的影响 | 第54页 |
| 4.1.3 球磨时间对TAZO靶材致密度、失重率、收缩率的影响 | 第54-56页 |
| 4.1.4 球磨时间对TAZO靶材微观形貌的影响 | 第56-57页 |
| 4.2 Al_2O_3掺杂量对TAZO靶材性能的影响 | 第57-60页 |
| 4.2.1 Al_2O_3掺杂量对TAZO靶材晶体结构的影响 | 第57-58页 |
| 4.2.2 Al_2O_3掺杂量对TAZO靶材致密度、电阻率的影响 | 第58-60页 |
| 4.2.3 Al_2O_3掺杂量对TAZO靶材断面形貌的影响 | 第60页 |
| 4.3 烧结温度对TAZO靶材性能的影响 | 第60-65页 |
| 4.3.1 烧结温度对TAZO靶材物相晶体结构的影响 | 第60-61页 |
| 4.3.2 烧结温度对TAZO靶材断面形貌的影响 | 第61-62页 |
| 4.3.3 烧结温度对TAZO靶材致密度的影响 | 第62-63页 |
| 4.3.4 烧结温度对TAZO靶材抗弯强度、显微硬度、收缩率的影响 | 第63-65页 |
| 4.4 保温时间对TAZO陶瓷靶材性能的影响 | 第65-69页 |
| 4.4.1 保温时间对TAZO陶瓷靶材密度、收缩率、失重量的影响 | 第65-67页 |
| 4.4.2 保温时间对TAZO陶瓷靶材抗弯强度、显微硬度的影响 | 第67-69页 |
| 小结 | 第69-70页 |
| 第5章 薄膜性能的测试 | 第70-74页 |
| 5.1 薄膜结构的表征 | 第70-71页 |
| 5.2 薄膜电学性能的表征 | 第71-72页 |
| 5.3 薄膜光学性能的表征 | 第72-73页 |
| 小结 | 第73-74页 |
| 第6章 结论与后续工作展望 | 第74-76页 |
| 6.1 主要结论 | 第74-75页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 攻读硕士期间的研究成果 | 第81页 |
