| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第8-11页 |
| 1.2 国内外研究概述 | 第11-14页 |
| 1.3 论文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 2 基于卷对卷的SALD设备设计 | 第15-30页 |
| 2.1 整体方案介绍 | 第15-16页 |
| 2.2 进气部分 | 第16-18页 |
| 2.3 加热部分 | 第18-20页 |
| 2.4 张力部分 | 第20-24页 |
| 2.5 纠偏部分 | 第24-26页 |
| 2.6 驱动部分 | 第26-27页 |
| 2.7 振动测量部分 | 第27-29页 |
| 2.8 本章小结 | 第29-30页 |
| 3 卷对卷的SALD工艺优化及薄膜测试 | 第30-49页 |
| 3.1 基底振动分析及优化 | 第30-35页 |
| 3.2 薄膜生长测量 | 第35-37页 |
| 3.3 卷对卷的SALD工艺优化 | 第37-45页 |
| 3.4 柔性基底上氧化铝薄膜的性能测试 | 第45-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 4 总结与展望 | 第49-51页 |
| 4.1 全文总结 | 第49页 |
| 4.2 展望 | 第49-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第56页 |