| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-12页 |
| 1.2 空间隔离原子层沉积技术介绍 | 第12-13页 |
| 1.3 空间隔离原子层沉积技术的国内外研究现状 | 第13-17页 |
| 1.4 课题意义及主要工作 | 第17-19页 |
| 第2章 高效模块化薄膜沉积系统设计 | 第19-33页 |
| 2.1 空间隔离原子层沉积技术的动力学理论分析 | 第19-21页 |
| 2.2 空间隔离原子层沉积的流体工艺参数分析 | 第21-24页 |
| 2.3 高效模块化薄膜沉积系统设计 | 第24-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 高效模块化薄膜沉积系统的喷头设计 | 第33-50页 |
| 3.1 空间隔离原子层沉积过程仿真建模理论 | 第33-37页 |
| 3.2 矩形通道结构的喷头仿真分析 | 第37-41页 |
| 3.3 单通道喷头结构均匀性的优化设计 | 第41-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 高效模块化薄膜沉积系统的运动控制及应用 | 第50-62页 |
| 4.1 基于非对称S曲线算法的基底运动控制曲线设计 | 第50-52页 |
| 4.2 非对称S运动曲线下的基底运动测试 | 第52-54页 |
| 4.3 系统应用 | 第54-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-62页 |
| 第5章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 全文总结 | 第62-63页 |
| 5.2 展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第71页 |