| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-26页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 氢生反应 | 第12-13页 |
| 1.3 电化学析氢 | 第13-18页 |
| 1.3.1 电化学析氢的原理 | 第13-15页 |
| 1.3.2 电化学析氢的步骤 | 第15-16页 |
| 1.3.3 电化学析氢的性能参数 | 第16-18页 |
| 1.4 MoS_2概述 | 第18-22页 |
| 1.4.1 MoS_2的结构 | 第19-20页 |
| 1.4.2 MoS_2催化性能的研究 | 第20-22页 |
| 1.5 单根/片器件的研究进展 | 第22-24页 |
| 1.6 本文的选题意义和研究内容 | 第24-26页 |
| 1.6.1 选题意义 | 第24-25页 |
| 1.6.2 研究内容 | 第25-26页 |
| 第2章 MoS_2催化器件的制备 | 第26-37页 |
| 2.1 实验材料与仪器 | 第26-27页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第26-27页 |
| 2.1.2 实验仪器 | 第27页 |
| 2.2 微纳器件加工技术的介绍 | 第27-29页 |
| 2.2.1 紫外光光刻技术 | 第27-28页 |
| 2.2.2 电子束刻蚀技术 | 第28页 |
| 2.2.3 真空热蒸发技术 | 第28-29页 |
| 2.3 MoS_2纳米片催化器件制备 | 第29-35页 |
| 2.3.1 外电极的制备 | 第30-32页 |
| 2.3.2 MoS_2纳米片的剥离 | 第32页 |
| 2.3.3 内电极的制备 | 第32-35页 |
| 2.3.4 绝缘层封装 | 第35页 |
| 2.4 空白对照组的设计与制备 | 第35-36页 |
| 2.5 小结 | 第36-37页 |
| 第3章 MoS_2催化器件的测试实验设计 | 第37-44页 |
| 3.1 分析仪器 | 第37页 |
| 3.2 仪器的介绍 | 第37-40页 |
| 3.2.1 原子力显微镜 | 第38页 |
| 3.2.2 场发射扫描电子显微镜 | 第38-39页 |
| 3.2.3 显微共焦激光拉曼光谱仪 | 第39页 |
| 3.2.4 Autolab电化学工作站 | 第39页 |
| 3.2.5 低温真空探针台 | 第39-40页 |
| 3.2.6 半导体参数测试仪 | 第40页 |
| 3.3 测试实验的设计 | 第40-43页 |
| 3.3.1 测试实验结构 | 第40-41页 |
| 3.3.2 测试实验原理 | 第41页 |
| 3.3.3 测试实验连接 | 第41-43页 |
| 3.4 小结 | 第43-44页 |
| 第4章 实验结果与分析 | 第44-56页 |
| 4.1 MoS_2催化器件的表征 | 第44-45页 |
| 4.1.1 单片MoS_2纳米片厚度的测试 | 第44-45页 |
| 4.1.2 MoS_2纳米片催化器件的形貌表征 | 第45页 |
| 4.2 MoS_2催化器件的可靠性分析 | 第45-49页 |
| 4.2.1 对照实验组的结果分析 | 第46-47页 |
| 4.2.2 液栅与背栅对比分析 | 第47-49页 |
| 4.3 MoS_2催化器件的稳定性分析 | 第49-51页 |
| 4.4 MoS_2催化器件的析氢性能测试 | 第51-53页 |
| 4.5 场效应调控MoS_2催化器件催化性能的机理研究 | 第53-55页 |
| 4.6 小结 | 第55-56页 |
| 第5章 结论与展望 | 第56-58页 |
| 5.1 结论 | 第56-57页 |
| 5.2 展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 硕士期间已发表与即将发表的论文 | 第64-65页 |
| 硕士期间已申请的专利 | 第65页 |