| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 1.绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 课题相关技术的研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 位移传感器测量技术及发展现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 涂层厚度测量技术及发展现状 | 第12-13页 |
| 1.2.3 平面电容阵列传感器成像技术国内外研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 论文主要研究内容及章节安排 | 第15-18页 |
| 1.3.1 主要研究内容 | 第15-16页 |
| 1.3.2 章节安排 | 第16-18页 |
| 2.边缘电场传感器的理论及有限元仿真 | 第18-26页 |
| 2.1 边缘电场传感器的结构及原理 | 第18-20页 |
| 2.1.1 电容传感器的传统结构分析 | 第18-19页 |
| 2.1.2 边缘电场传感器的结构及原理分析 | 第19-20页 |
| 2.2 边缘电场传感器的结构参数 | 第20-21页 |
| 2.3 边缘电场传感器的性能指标 | 第21-23页 |
| 2.4 基于AnsysMaxwell的有限元仿真方法 | 第23-25页 |
| 2.5 小结 | 第25-26页 |
| 3.大范围位移测量系统的设计及研究 | 第26-38页 |
| 3.1 边缘电场传感器位移测量原理 | 第26-28页 |
| 3.2 传感器的有限元仿真 | 第28-31页 |
| 3.3 传感器调理电路设计 | 第31-35页 |
| 3.4 实验及结果分析 | 第35-37页 |
| 3.5 小结 | 第37-38页 |
| 4.涂层厚度测量系统的设计及研究 | 第38-49页 |
| 4.1 边缘电场传感器厚度测量原理 | 第38-40页 |
| 4.2 传感器的有限元仿真 | 第40-45页 |
| 4.3 PCB传感器的研制 | 第45-46页 |
| 4.4 实验及结果分析 | 第46-48页 |
| 4.5 小结 | 第48-49页 |
| 5.平面电容阵列传感器及其信号采集电路设计 | 第49-66页 |
| 5.1 传感器结构及检测原理 | 第49-51页 |
| 5.2 平面电容阵列传感器设计参数分析 | 第51-52页 |
| 5.3 传感器的有限元仿真 | 第52-59页 |
| 5.4 信号采集电路设计 | 第59-64页 |
| 5.4.1 各组成模块设计 | 第60-64页 |
| 5.4.2 功能验证 | 第64页 |
| 5.5 小结 | 第64-66页 |
| 6.总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 总结 | 第66页 |
| 6.2 展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及参与的课题 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |