| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 课题研究目的和意义 | 第11-12页 |
| 1.2 BZT-BCT 薄膜的制备方法 | 第12-14页 |
| 1.2.1 溶胶凝胶法 | 第12-13页 |
| 1.2.2 磁控溅射法 | 第13页 |
| 1.2.3 脉冲激光沉积法 | 第13-14页 |
| 1.3 BZT-BCT 薄膜的结构和应用 | 第14-17页 |
| 1.3.1 BZT-BCT 的晶体结构和相图 | 第14-15页 |
| 1.3.2 BZT-BCT 薄膜应用研究 | 第15-17页 |
| 1.4 BZT-BCT 薄膜的电性能研究 | 第17-20页 |
| 1.4.1 BZT-BCT 薄膜的压电性能 | 第17-18页 |
| 1.4.2 BZT-BCT 薄膜的铁电性能 | 第18-19页 |
| 1.4.3 BZT-BCT 薄膜的介电性能 | 第19-20页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 试验材料及研究方法 | 第22-30页 |
| 2.1 试验材料 | 第22-23页 |
| 2.2 种子层的制备 | 第23-24页 |
| 2.2.1 镍酸镧(LNO)种子层的制备 | 第23页 |
| 2.2.2 钛酸锶(STO)种子层的制备 | 第23-24页 |
| 2.3 BZT-BCT 基薄膜的制备 | 第24-27页 |
| 2.3.1 BZT-BCT 薄膜的制备 | 第24-26页 |
| 2.3.2 CCTO/BZT-BCT 复合薄膜的制备 | 第26-27页 |
| 2.4 电极的制备 | 第27页 |
| 2.5 薄膜结构和性能的研究方法 | 第27-30页 |
| 2.5.1 X 射线衍射分析 | 第27页 |
| 2.5.2 小角 X 射线散射分析 | 第27-28页 |
| 2.5.3 原子力显微镜表面形貌分析 | 第28页 |
| 2.5.4 薄膜表面电畴分析 | 第28页 |
| 2.5.5 薄膜压电性能测试 | 第28-29页 |
| 2.5.6 薄膜铁电性能测试 | 第29页 |
| 2.5.7 薄膜介电性能测试 | 第29-30页 |
| 第3章 共溅射 BZT-BCT 薄膜结构和性能研究 | 第30-48页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 沉积态 BZT-BCT 薄膜的结构和性能 | 第30-35页 |
| 3.2.1 通氧量对沉积态 BZT-BCT 薄膜物相的影响 | 第30-31页 |
| 3.2.2 通氧量对沉积态 BZT-BCT 薄膜厚度的影响 | 第31-32页 |
| 3.2.3 通氧量对沉积态 BZT-BCT 薄膜表面形貌的影响 | 第32-33页 |
| 3.2.4 通氧量对沉积态 BZT-BCT 薄膜电性能的影响 | 第33-35页 |
| 3.3 RTA 退火态 BZT-BCT 薄膜结构和性能 | 第35-41页 |
| 3.3.1 RTA 退火态 BZT-BCT 薄膜的相结构和表面形貌 | 第36-37页 |
| 3.3.2 RTA 退火态 BZT-BCT 薄膜的电畴结构 | 第37-39页 |
| 3.3.3 RTA 退火态 BZT-BCT 薄膜的电性能 | 第39-41页 |
| 3.4 CTA 退火态 BZT-BCT 薄膜结构和性能 | 第41-47页 |
| 3.4.1 CTA 退火态 BZT-BCT 薄膜的相结构和表面形貌 | 第41-43页 |
| 3.4.2 CTA 退火态 BZT-BCT 薄膜的电畴结构 | 第43-44页 |
| 3.4.3 CTA 退火态 BZT-BCT 薄膜的电性能 | 第44-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 种子层对 BZT-BCT 薄膜结构和性能的影响 | 第48-60页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 BZT-BCT/LNO 薄膜的结构与电性能 | 第48-53页 |
| 4.2.1 LNO 种子层对 BZT-BCT 薄膜相结构的影响 | 第48-49页 |
| 4.2.2 BZT-BCT/LNO 薄膜的表面形貌 | 第49-51页 |
| 4.2.3 BZT-BCT/LNO 薄膜的电性能 | 第51-53页 |
| 4.3 BZT-BCT/STO 薄膜的结构与电性能 | 第53-58页 |
| 4.3.1 STO 种子层对 BZT-BCT 薄膜相结构的影响 | 第53-54页 |
| 4.3.2 BZT-BCT/STO 薄膜的表面形貌 | 第54-56页 |
| 4.3.3 BZT-BCT/STO 薄膜的电性能 | 第56-58页 |
| 4.4 BZT-BCT/LNO 和 BZT-BCT/STO 薄膜电性能比较 | 第58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-60页 |
| 第5章 BZT-BCT/CCTO 复合薄膜结构和性能 | 第60-73页 |
| 5.1 引言 | 第60页 |
| 5.2 退火温度对 CCTO/BZT-BCT/LNO 薄膜结构与性能的影响 | 第60-65页 |
| 5.2.1 CCTO/BZT-BCT/LNO 薄膜的相结构 | 第61页 |
| 5.2.2 CCTO/BZT-BCT/LNO 薄膜的表面形貌 | 第61-62页 |
| 5.2.3 CCTO/BZT-BCT/LNO 薄膜电畴结构 | 第62-63页 |
| 5.2.4 CCTO/BZT-BCT/LNO 薄膜的电性能 | 第63-65页 |
| 5.3 退火温度对 CCTO/BZT-BCT/STO 薄膜结构与性能的影响 | 第65-69页 |
| 5.3.1 CCTO/BZT-BCT/STO 薄膜的相结构 | 第65-66页 |
| 5.3.2 CCTO/BZT-BCT/STO 薄膜的表面形貌 | 第66-67页 |
| 5.3.3 CCTO/BZT-BCT/STO 薄膜的电畴结构 | 第67-68页 |
| 5.3.4 CCTO/BZT-BCT/STO 薄膜的电性能 | 第68-69页 |
| 5.4 氧分压对 CCTO/BZT-BCT 薄膜结构与性能的影响 | 第69-72页 |
| 5.4.1 CCTO/BZT-BCT 薄膜的相结构 | 第69-70页 |
| 5.4.2 CCTO/BZT-BCT 薄膜的表面形貌 | 第70-71页 |
| 5.4.3 CCTO/BZT-BCT 薄膜的电性能 | 第71-72页 |
| 5.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
