| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 镁、铝薄膜的应用和研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.1 镁薄膜的应用和研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 铝薄膜的应用和研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3 薄膜制备方法 | 第12-17页 |
| 1.3.1 薄膜制备方法的介绍 | 第12-13页 |
| 1.3.2 真空蒸发镀膜法 | 第13页 |
| 1.3.3 真空蒸发镀膜法的工作过程和基本原理 | 第13-15页 |
| 1.3.4 真空蒸发速度的影响因素 | 第15页 |
| 1.3.5 蒸发源的类型 | 第15-17页 |
| 1.4 本文的工作目的和内容 | 第17-19页 |
| 1.4.1 本文的工作目的 | 第17-18页 |
| 1.4.2 本文的研究的内容 | 第18-19页 |
| 2 实验设备和实验过程 | 第19-22页 |
| 2.1 实验设备 | 第19-20页 |
| 2.2 蒸发源和蒸发材料的选取 | 第20页 |
| 2.2.1 蒸发源的选取和制备 | 第20页 |
| 2.2.2 蒸发材料的选取 | 第20页 |
| 2.3 薄膜性能的分析测试 | 第20-22页 |
| 2.3.1 物相分析 | 第20-21页 |
| 2.3.2 薄膜表面形貌及成分分析 | 第21页 |
| 2.3.3 薄膜厚度的测试 | 第21页 |
| 2.3.4 薄膜的退火处理 | 第21页 |
| 2.3.5 镀膜铝丝拉伸强度的测试 | 第21-22页 |
| 3 真空蒸发制备薄膜工艺的探索 | 第22-37页 |
| 3.1 蒸镀Mg薄 膜的前期准备 | 第22-23页 |
| 3.1.1 蒸发材料的制备和处理 | 第22-23页 |
| 3.1.2 基底与蒸发源的选择和处理 | 第23页 |
| 3.2 Mg薄 膜制备工艺的探索 | 第23-25页 |
| 3.2.1 铝片上蒸镀镁薄膜 | 第23-24页 |
| 3.2.2 蒸镀镁薄膜实验结果 | 第24页 |
| 3.2.3 蒸镀工艺的改进 | 第24页 |
| 3.2.4 改进后实验结果 | 第24页 |
| 3.2.5 成功蒸镀镁薄膜实验总结 | 第24-25页 |
| 3.3 Al薄 膜制备工艺的探索 | 第25-27页 |
| 3.3.1 基底与蒸发源的选择和处理 | 第25页 |
| 3.3.2 铝薄膜的蒸镀实验 | 第25-26页 |
| 3.3.3 蒸镀铝薄膜的实验结果和分析 | 第26-27页 |
| 3.3.4 成功蒸镀铝薄膜实验总结 | 第27页 |
| 3.4 镁薄膜厚度和镁蒸发量之间的关系 | 第27-31页 |
| 3.4.1 真空蒸发镀膜膜厚的理论分布 | 第27-28页 |
| 3.4.2 薄膜厚度的实验研究 | 第28-31页 |
| 3.5 镁铝复合薄膜的制备实验 | 第31页 |
| 3.6 Al丝 包覆 10wt%金 属镁的工艺研究 | 第31-36页 |
| 3.6.1 实验前处理 | 第31-32页 |
| 3.6.2 制备Al丝 包覆 10wt%金 属镁薄膜的初步实验 | 第32页 |
| 3.6.3 实验结果和分析 | 第32-33页 |
| 3.6.4 改进后实验结果和分析 | 第33-34页 |
| 3.6.5 探索铝丝上薄膜厚度与蒸发量之间的关系 | 第34-36页 |
| 3.7 Al丝 上镀覆镁铝复合薄膜的工艺总结 | 第36页 |
| 3.8 本章小结 | 第36-37页 |
| 4 薄膜的物相和表面形貌 | 第37-55页 |
| 4.1 薄膜的X射 线衍射分析 | 第37-39页 |
| 4.2 薄膜的表面形貌分析 | 第39-44页 |
| 4.2.1 铝平面和铝丝上镁薄膜的形貌 | 第39-40页 |
| 4.2.2 铝平面和铝丝上铝薄膜的形貌 | 第40-41页 |
| 4.2.3 不同厚度下铝薄膜的表面形貌 | 第41-42页 |
| 4.2.4 铝平面和铝丝上镁铝复合薄膜的形貌 | 第42-43页 |
| 4.2.5 薄膜的截面形貌 | 第43-44页 |
| 4.3 薄膜的氧化性能分析 | 第44-49页 |
| 4.3.1 铝平面和铝丝上镁薄膜的氧化情况分析 | 第44-46页 |
| 4.3.2 铝平面和铝丝上铝薄膜的氧化情况分析 | 第46-48页 |
| 4.3.3 镁铝复合薄膜的防氧化情况分析 | 第48-49页 |
| 4.4 不同退火温度对薄膜形貌的影响 | 第49-51页 |
| 4.4.1 退火对镁薄膜形貌的影响 | 第49-50页 |
| 4.4.2 退火对镁铝复合薄膜形貌的影响 | 第50-51页 |
| 4.5 退火对合金丝性能的影响 | 第51-54页 |
| 4.5.1 退火前后合金丝的形貌对比 | 第51-52页 |
| 4.5.2 退火前后丝阵上薄膜氧化性能的变化 | 第52-53页 |
| 4.5.3 退火前后铝丝强度的变化 | 第53-54页 |
| 4.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第63页 |