| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-26页 |
| 1.2.1 高温环境微纳米压痕测试技术研究现状 | 第14-20页 |
| 1.2.2 高温环境材料压痕响应研究的研究现状 | 第20-26页 |
| 1.3 本文研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 微纳米压痕测试原理与高温压痕测试的关键技术 | 第28-40页 |
| 2.1 微纳米压痕测试技术的原理 | 第28-33页 |
| 2.1.1 微纳米压痕测试技术的特点 | 第28-29页 |
| 2.1.2 微纳米压痕测试的典型分析方法与经典力学模型 | 第29-31页 |
| 2.1.3 压头主要类型及其相关参数 | 第31-33页 |
| 2.2 精密压入驱动技术 | 第33-35页 |
| 2.2.1 大行程压入驱动方式的实现 | 第33-34页 |
| 2.2.2 小行程精密驱动技术—压电叠堆 | 第34-35页 |
| 2.3 高温压痕测试的关键技术 | 第35-37页 |
| 2.4 测控软件设计分析 | 第37-39页 |
| 2.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第3章 高温环境微纳米压痕测试装置设计分析 | 第40-60页 |
| 3.1 测试平台整机设计 | 第40-44页 |
| 3.1.1 压痕机械加载模块结构原理设计 | 第40-41页 |
| 3.1.2 温度加载模块的设计与注意事项 | 第41-43页 |
| 3.1.3 测试平台整体结构 | 第43-44页 |
| 3.2 关键机械单元的设计分析 | 第44-51页 |
| 3.2.1 Z轴精密旋转定位平台设计分析 | 第44-47页 |
| 3.2.2 Z轴宏动工作台设计分析 | 第47-48页 |
| 3.2.3 精密驱动单元设计分析 | 第48-51页 |
| 3.3 关键机械部件温度特性分析 | 第51-53页 |
| 3.4 精密检测单元的设计分析 | 第53-56页 |
| 3.4.1 双传感器检测方案的设计 | 第53-54页 |
| 3.4.2 载荷检测模块 | 第54-55页 |
| 3.4.3 位移检测模块 | 第55-56页 |
| 3.5 测试装置三维模型及整机模态分析 | 第56-59页 |
| 3.5.1 测试平台整机三维模型 | 第56-57页 |
| 3.5.2 测试平台整机模态分析 | 第57-59页 |
| 3.6 本章小结 | 第59-60页 |
| 第4章 测试平台调试校准与相关试验 | 第60-86页 |
| 4.1 测试平台整机集成 | 第60-61页 |
| 4.2 精密驱动单元输出特性测定 | 第61-66页 |
| 4.3 温控单元的变温加载性能测试分析 | 第66-69页 |
| 4.3.1 温度加载及保持性测试 | 第66-67页 |
| 4.3.2 交替变温的响应实时性测试 | 第67页 |
| 4.3.3 温度对信号检测波动的影响 | 第67-69页 |
| 4.4 载荷/位移传感器的标定校准 | 第69-74页 |
| 4.4.1 载荷力传感器的标定校准 | 第69-73页 |
| 4.4.2 位移传感器的标定校准 | 第73-74页 |
| 4.5 测试平台的性能测试 | 第74-76页 |
| 4.5.1 原始压痕曲线测试 | 第74-75页 |
| 4.5.2 原始压痕曲线重复性测试 | 第75-76页 |
| 4.6 测试平台的精度校准与修正 | 第76-80页 |
| 4.6.1 测试平台机架柔度校准分析 | 第76-77页 |
| 4.6.2 校准后压痕曲线及其重复性测试分析 | 第77-78页 |
| 4.6.3 电机驱动大载荷压痕校准 | 第78-80页 |
| 4.7 相关材料高温压痕响应研究 | 第80-84页 |
| 4.7.1 熔融石英高温压痕响应研究 | 第80-83页 |
| 4.7.2 GH1131材料高温压痕测试 | 第83-84页 |
| 4.8 本章小结 | 第84-86页 |
| 第5章 总结与展望 | 第86-90页 |
| 5.1 总结 | 第86-87页 |
| 5.2 展望 | 第87-90页 |
| 参考文献 | 第90-96页 |
| 作者简介及攻读硕士学位期间的主要科研成果 | 第96-98页 |
| 致谢 | 第98页 |