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微纳结构金属氧化物半导体气体传感器的制备及性能研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第1章 绪论第13-37页
    1.1 引言第13-14页
    1.2 气体传感器概况第14-17页
        1.2.1 气体传感器的历史发展第14页
        1.2.2 气体传感器的定义与分类第14-16页
        1.2.3 气体传感器的性能参数第16-17页
    1.3 氧化物半导体型气体传感器第17-22页
        1.3.1 氧化物半导体型气体传感器的分类第17-19页
        1.3.2 几种常见的半导体氧化物气敏材料第19-20页
        1.3.3 氧化物半导体型气体传感器的影响因素第20-22页
    1.4 微纳米金属氧化物半导体气敏性能研究第22-34页
        1.4.1 敏感材料的微观结构对气敏性能影响第22-24页
        1.4.2 异质结构对气敏性能的影响第24-30页
        1.4.3 多元组分氧化物半导体气敏性能的研究第30-31页
        1.4.4 石墨烯对气敏性能的影响第31-34页
        1.4.5 氧化物半导体气体传感器的发展趋势第34页
    1.5 本文的选题思想及主要研究内容第34-37页
第2章 金属氧化物气体传感器的特性与测试第37-45页
    2.1 金属氧化物气敏传感器的气敏机理第37-38页
    2.2 金属氧化物气敏传感器的器件结构第38-39页
    2.3 金属氧化物气敏传感器的测试分析第39-44页
        2.3.1 气敏元件的制作及气敏测试第39-43页
        2.3.2 气体传感器的性能分析指标第43-44页
    2.4 本章小结第44-45页
第3章 基于介孔结构SnO_2气体传感器的制备及其对NO气体的检测第45-58页
    3.1 引言第45-46页
    3.2 基于介孔SnO_2纳米球气敏元件的制备第46-47页
        3.2.1 元件材料的生长第46-47页
        3.2.2 气敏元件的制作第47页
    3.3 元件材料的形貌及结构表征分析第47-51页
        3.3.1 介孔SnO_2纳米球的表征仪器第47页
        3.3.2 介孔SnO_2纳米球的表征分析第47-51页
    3.4 元件材料的气敏性能测试分析第51-56页
        3.4.1 元件的性能测试第51页
        3.4.2 元件的加热温度与灵敏度的关系第51-53页
        3.4.3 元件的灵敏度第53-55页
        3.4.4 元件的重复性和稳定性第55-56页
        3.4.5 元件的选择性第56页
    3.5 本章小结第56-58页
第4章 p型NiO掺杂及烧结造孔对n型SnO_2中空球气敏性能的影响第58-70页
    4.1 引言第58-59页
    4.2 基于NiO掺杂的SnO_2中空多孔纳米球元件的制备第59-60页
        4.2.1 气敏材料的制备第59页
        4.2.2 气敏元件的制作第59-60页
    4.3 元件材料的形貌及结构表征分析第60-63页
        4.3.1 气敏材料的表征仪器第60页
        4.3.2 气敏材料的表征分析第60-63页
        4.3.3 气敏元件材料的构成机制第63页
    4.4 元件材料的气敏性能测试分析第63-68页
        4.4.1 元件的性能测试系统第63-64页
        4.4.2 元件的性能测试分析第64-67页
        4.4.3 元件传感机理的探讨第67-68页
    4.5 本章小结第68-70页
第5章 具有超快响应的基于ZnSnO3纳米片的气体传感器第70-83页
    5.1 引言第70-71页
    5.2 实验部分第71-72页
        5.2.1 实验原材料第71页
        5.2.2 气敏材料的制备第71页
        5.2.3 气敏材料的表征第71-72页
        5.2.4 气敏元件的制作及气敏测试第72页
    5.3 结果与讨论第72-77页
        5.3.1 气敏元件材料结构分析和形态表征第72-74页
        5.3.2 气敏元件材料的生长过程与机制第74-77页
    5.4 基于锡酸锌纳米片元件的气敏性能第77-80页
    5.5 基于片状ZnSnO_3的传感器敏感机制的探讨第80-82页
    5.6 本章小结第82-83页
第6章 基于还原性氧化石墨烯负载三元锂电材料的传感器气敏研究第83-96页
    6.1 引言第83-84页
    6.2 多孔NiCo_2O_4纳米片复合还原性氧化石墨烯的制备第84-85页
        6.2.1 氧化石墨烯(GO)的制备第84页
        6.2.2 NiCo_2O_4纳米片/RGO的制备第84-85页
    6.3 材料的形貌及结构表征分析第85-87页
        6.3.1 材料的表征仪器第85页
        6.3.2 复合材料的表征分析第85-87页
    6.4 征NiCo_2O_4-RGO复合物的电化学性能测试分析第87-89页
        6.4.1 锂电性能测试第87页
        6.4.2 锂电性能测试分析第87-89页
    6.5 NiCo_2O_4-RGO复合物元件材料的气敏测试与分析第89-94页
        6.5.1 元件的制备与性能测试第89-90页
        6.5.2 元件的气敏测试与性能分析第90-93页
            6.5.2.1 元件的加热温度第90-92页
            6.5.2.2 元件的灵敏度第92-93页
        6.5.3 气敏机理分析第93-94页
    6.6 本章小结第94-96页
总结第96-98页
参考文献第98-114页
致谢第114-115页
附录A 攻读学位期间发表的学术论文情况第115-116页

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