水导激光切割机控制系统设计与晶圆预对准研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 水导激光切割机的国内外研究现状 | 第9-11页 |
| 1.3 切割机运动控制系统的国内外研究现状及分析 | 第11-13页 |
| 1.4 晶圆对准系统的研究现状和分析 | 第13-14页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 水导激光切割机硬件架构 | 第15-25页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 切割机本体分析 | 第15-17页 |
| 2.3 驱动系统分析 | 第17-19页 |
| 2.4 CNC 数控系统简介 | 第19-22页 |
| 2.5 晶圆预对准系统分析 | 第22-24页 |
| 2.6 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 控制系统设计与分析 | 第25-46页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 控制系统整体设计与分析 | 第25-32页 |
| 3.2.1 X 轴和 Y 轴的控制设计与实现 | 第26-29页 |
| 3.2.2 Z 轴的控制设计与实现 | 第29-30页 |
| 3.2.3 旋转轴的控制设计与实现 | 第30-32页 |
| 3.3 CNC 控制系统二次开发 | 第32-41页 |
| 3.3.1 操作面板设计 | 第35-36页 |
| 3.3.2 系统人机界面 | 第36-37页 |
| 3.3.3 PLC 程序开发 | 第37-39页 |
| 3.3.4 切割机参数设置 | 第39-41页 |
| 3.4 供电系统的设计与安装 | 第41-43页 |
| 3.4.1 供电系统需求分析 | 第42-43页 |
| 3.4.2 供电系统设计与安装 | 第43页 |
| 3.5 控制柜设计 | 第43-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 晶圆预对准算法研究与实现 | 第46-59页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 晶圆预对准方案总体设计 | 第46-51页 |
| 4.2.1 切边或缺口检测方法分析 | 第46-48页 |
| 4.2.2 晶圆边缘圆拟合方法分析 | 第48-51页 |
| 4.3 晶圆预对准图像处理研究 | 第51-58页 |
| 4.3.1 图像增强 | 第51-54页 |
| 4.3.2 图像边缘提取 | 第54-56页 |
| 4.3.3 晶圆圆拟合及切边或缺口拟合 | 第56-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 切割机整机调试运行和实验 | 第59-69页 |
| 5.1 引言 | 第59页 |
| 5.2 X、Y 轴调试运行 | 第59-61页 |
| 5.3 Z 轴调试运行 | 第61-62页 |
| 5.4 旋转轴运行 | 第62-64页 |
| 5.5 切割机整机运行实验 | 第64-68页 |
| 5.6 本章小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 附录 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
