| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| 1.1 课题背景和意义 | 第8-10页 |
| 1.2 MEMS压力传感器介绍 | 第10-15页 |
| 1.2.1 MEMS传感器分类 | 第10-12页 |
| 1.2.2 MEMS压力传感器应用 | 第12-13页 |
| 1.2.3 MEMS压力传感器研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 压电材料论述 | 第15-20页 |
| 1.3.1 压电材料介绍 | 第15-17页 |
| 1.3.2 压电材料研究进展 | 第17-20页 |
| 1.4 课题主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 压电式纤维压力传感器结构设计 | 第21-25页 |
| 2.1 压电式压力传感器结构和工作原理 | 第21-22页 |
| 2.2 压电式压力传感器尺寸设计 | 第22-24页 |
| 2.3 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 压电式纳米纤维压力传感器制备工艺研究 | 第25-39页 |
| 3.1 压电式纳米纤维压力传感器基底工艺 | 第25-34页 |
| 3.1.1 基底工艺流程的设计 | 第25-27页 |
| 3.1.2 正面叉指型平行电极的制作 | 第27-30页 |
| 3.1.3 压力弹性薄膜的制作 | 第30-33页 |
| 3.1.4 传感器基底制作结果与工艺分析 | 第33-34页 |
| 3.2 压电式压力传感器静电纺丝工艺 | 第34-38页 |
| 3.2.1 静电纺丝BFO纳米纤维工艺设计 | 第34页 |
| 3.2.2 静电纺丝BFO纳米纤维工艺过程 | 第34-36页 |
| 3.2.3 BFO纳米纤维取向控制与工艺分析 | 第36-38页 |
| 3.3 本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 压电式压力传感器测试平台的制作与调试 | 第39-49页 |
| 4.1 测试系统原理与组成 | 第39-40页 |
| 4.2 密封容器的设计 | 第40-41页 |
| 4.3 测试平台其他零件选择 | 第41-43页 |
| 4.4 检测电路硬件设计 | 第43-46页 |
| 4.5 传感器测试平台的调试 | 第46-48页 |
| 4.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 BFO纳米纤维表征以及传感器的测试实验 | 第49-56页 |
| 5.1 BFO纳米纤维性能与表征 | 第49-52页 |
| 5.1.1 BFO纤维退火形貌 | 第49-51页 |
| 5.1.2 XRD图谱与分析 | 第51-52页 |
| 5.1.3 纤维SEM分析 | 第52页 |
| 5.2 BFO纳米纤维压电式压力传感器测试实验研究 | 第52-55页 |
| 5.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 第六章 结论与展望 | 第56-58页 |
| 6.1 结论 | 第56-57页 |
| 6.2 展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 附录 | 第62-67页 |
| 在学期间研究成果 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |