| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 1 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 选题背景及研究意义 | 第12-15页 |
| 1.2 课题国内外研究现状 | 第15-19页 |
| 1.2.1 石英晶体微天平(QCM)传感器应用研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.2 湿度测量关键技术调研 | 第17-18页 |
| 1.2.3 纳米材料修饰的QCM湿度传感器研究状况调研 | 第18-19页 |
| 1.3 课题主要研究内容及技术路线 | 第19-21页 |
| 1.3.1 课题主要研究内容 | 第19-21页 |
| 1.3.2 课题研究技术路线 | 第21页 |
| 1.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 2 纳米ZnO的制备、表征及QCM电极表面的修饰 | 第22-28页 |
| 2.1 纳米ZnO结构、性能及应用 | 第22-23页 |
| 2.1.1 纳米ZnO结构性能 | 第22页 |
| 2.1.2 纳米ZnO应用领域 | 第22-23页 |
| 2.2 实验试剂及设备 | 第23页 |
| 2.3 纳米ZnO的水热法制备及表征 | 第23-25页 |
| 2.3.1 纳米ZnO的水热法制备 | 第23-24页 |
| 2.3.2 水热法制备的纳米ZnO结构的表征 | 第24-25页 |
| 2.4 QCM电极表面修饰 | 第25-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 3 标准湿度环境构建及湿度传感器校准平台设计 | 第28-45页 |
| 3.1 基于饱和盐溶液的标准湿度环境的构建 | 第28-32页 |
| 3.1.1 饱和盐溶液湿度环境国家标准湿度及原理 | 第28-29页 |
| 3.1.2 饱和盐溶液湿度环境测量装置结构 | 第29-32页 |
| 3.2 干湿球温度计湿度辅助测量装置 | 第32-33页 |
| 3.2.1 干湿球温度计湿度辅助测量装置构造 | 第32页 |
| 3.2.2 干湿球温度计测湿辅助测量装置的定标过程 | 第32-33页 |
| 3.3 湿度传感器测量电路的搭建 | 第33-36页 |
| 3.3.1 石英晶体振荡电路的选择与设计 | 第33-35页 |
| 3.3.2 Multisim仿真电路及波形图 | 第35-36页 |
| 3.4 基于LabVIEW的湿度传感器校准平台系统设计 | 第36-42页 |
| 3.4.1 LabVIEW系统设计 | 第36-37页 |
| 3.4.2 DAQ数据采集卡 | 第37-38页 |
| 3.4.3 DAQ采集配置 | 第38-40页 |
| 3.4.4 实时采集显示与数据转换 | 第40-41页 |
| 3.4.5 系统时间实时获取和显示 | 第41-42页 |
| 3.5 LabVIEW程序设计前后面板 | 第42-44页 |
| 3.6 本章小结 | 第44-45页 |
| 4 纳米ZnO修饰的QCM湿度传感器在常温及变温环境下的性能研究 | 第45-56页 |
| 4.1 QCM湿度传感器在常温环境下的测试实验 | 第45页 |
| 4.2 QCM湿度传感器在常温环境下的湿敏特性测试及分析 | 第45-52页 |
| 4.2.1 灵敏度和线性度的测试及分析 | 第45-47页 |
| 4.2.2 湿滞特性测试及分析 | 第47-48页 |
| 4.2.3 重复性和稳定性的测试及分析 | 第48-51页 |
| 4.2.4 响应时间和恢复时间的测试及分析 | 第51-52页 |
| 4.3 QCM湿度传感器的抗干扰性研究 | 第52-54页 |
| 4.4 QCM湿度传感器在常温环境下的测试结果与讨论 | 第54页 |
| 4.4.1 测试结果 | 第54页 |
| 4.4.2 进一步讨论 | 第54页 |
| 4.5 QCM湿度传感器在变温环境下湿敏特性的测试及分析 | 第54-55页 |
| 4.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 5 纳米ZnO修饰的QCM湿度传感器在低温环境下的性能研究 | 第56-60页 |
| 5.1 QCM湿度传感器在低温环境下的测试实验 | 第56页 |
| 5.2 QCM湿度传感器在低温环境下的湿敏特性测试及分析 | 第56-59页 |
| 5.2.1 灵敏度与线性度测试及分析 | 第56-57页 |
| 5.2.2 湿滞测试与分析 | 第57-58页 |
| 5.2.3 响应时间和恢复时间测试及分析 | 第58-59页 |
| 5.3 本章小结 | 第59-60页 |
| 6 系统调试与校准 | 第60-66页 |
| 6.1 测量电路调试 | 第60-61页 |
| 6.2 LabVIEW程序调试 | 第61-62页 |
| 6.3 湿度传感器的校准 | 第62-63页 |
| 6.3.1 基于饱和盐溶液标准湿度环境校准湿度传感器 | 第62页 |
| 6.3.2 基于干湿球温度计校准湿度传感器 | 第62页 |
| 6.3.3 商用湿度计校准湿度传感器 | 第62-63页 |
| 6.4 湿度传感器校准实验数据统计分析 | 第63-64页 |
| 6.5 系统整体调试 | 第64页 |
| 6.6 误差分析与系统评价 | 第64-65页 |
| 6.6.1 误差分析 | 第64-65页 |
| 6.6.2 系统评价 | 第65页 |
| 6.7 本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
