| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 VO_2薄膜的光学和电学特性 | 第11-14页 |
| 1.3 VO_2薄膜的应用 | 第14-15页 |
| 1.4 本课题组前期工作介绍 | 第15-17页 |
| 1.5 本课题研究内容、创新点及资助 | 第17-19页 |
| 2 VO_2薄膜相变理论及制备方法 | 第19-38页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 VO_2晶体结构 | 第19-21页 |
| 2.3 相变机理能带分析 | 第21-22页 |
| 2.4 VO_2薄膜相变温度影响因素 | 第22-28页 |
| 2.5 VO_2薄膜的制备方法 | 第28-36页 |
| 2.6 本章小结 | 第36-38页 |
| 3 离子束溅射法制备低温相变 VO_2薄膜及其性能研究 | 第38-64页 |
| 3.1 引言 | 第38-39页 |
| 3.2 反应离子束溅射法制备 VOx薄膜 | 第39-43页 |
| 3.3 工艺参数的优化 | 第43-45页 |
| 3.4 性能测试及结果分析 | 第45-63页 |
| 3.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 4 磁控溅射法制备低温相变 VO_2薄膜及其性能研究 | 第64-75页 |
| 4.1 引言 | 第64页 |
| 4.2 直流磁控溅射法制备 VO_2薄膜 | 第64-68页 |
| 4.3 性能测试及结果分析 | 第68-74页 |
| 4.4 本章小结 | 第74-75页 |
| 5 高温相变 VO_2薄膜的制备及性能研究 | 第75-86页 |
| 5.1 引言 | 第75-76页 |
| 5.2 离子束溅射法制备高温相变 VO_2薄膜 | 第76-79页 |
| 5.3 性能测试及结果分析 | 第79-85页 |
| 5.4 本章小结 | 第85-86页 |
| 6 掺钨 VO_2 W-VO_2 薄膜的制备及性能研究 | 第86-100页 |
| 6.1 引言 | 第86页 |
| 6.2 W-VO_2薄膜的制备及工艺参数的优化 | 第86-90页 |
| 6.3 性能测试及结果分析 | 第90-99页 |
| 6.4 本章小结 | 第99-100页 |
| 7 VO_2薄膜智能窗与激光防护应用 | 第100-108页 |
| 7.1 引言 | 第100页 |
| 7.2 低温相变 VO_2薄膜在太阳能智能窗的应用 | 第100-104页 |
| 7.3 低温相变 VO_2薄膜在激光防护的应用 | 第104-107页 |
| 7.4 本章小结 | 第107-108页 |
| 8 总结与展望 | 第108-112页 |
| 8.1 研究工作总结 | 第108-110页 |
| 8.2 后期工作展望 | 第110-112页 |
| 致谢 | 第112-113页 |
| 参考文献 | 第113-125页 |
| 附录 攻读学位期间发表论文目录与专利 | 第125页 |
