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真空电子束熔炼炉电子枪偏转机构的设计与仿真

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
目录第8-11页
第1章 绪论第11-17页
    1.1 课题研究背景与意义第11-12页
    1.2 国内外研究现状第12-14页
    1.3 课题研究内容和手段第14-16页
        1.3.1 实验手段和内容第14-15页
        1.3.2 计算机模拟第15-16页
    1.4 课题来源及研究内容第16-17页
第2章 电子枪及其应用第17-31页
    2.1 电子枪简介第17-18页
    2.2 电子枪的构成和基本原理第18页
    2.3 电子光学基本原理第18-25页
        2.3.1 电子在电场中的运动第20-22页
        2.3.2 电子在电场中的运动第22-25页
    2.4 电子枪的基础理论第25-28页
        2.4.1 阴极第25-26页
        2.4.2 电子枪聚集线圈第26-27页
        2.4.3 电子枪偏转线圈第27-28页
    2.5 KSR——系列电子枪的结构第28-30页
    2.6 电子枪的应用第30页
    2.7 本章小结第30-31页
第3章 磁偏转系统及扫描系统第31-43页
    3.1 偏转磁场的分布第31-33页
    3.2 磁场分布规律和线圈结构关系第33-35页
    3.3 均匀磁场的获得第35-36页
    3.4 电子束图形扫描原理第36-37页
    3.5 磁偏转系统的像差第37-41页
        3.5.1 磁偏转场的电子轨迹第37-39页
        3.5.2 偏转象散和场曲第39-41页
        3.5.3 慧差第41页
    3.6 本章小结第41-43页
第4章 鞍形线圈的结构及工作原理第43-49页
    4.1 线圈模的结构第43-45页
    4.2 线圈绕线方法的设计第45-46页
    4.3 鞍形线圈的工作原理及计算第46-47页
    4.4 本章小结第47-49页
第5章 电磁场的仿真和模拟分析第49-73页
    5.1 CST粒子模拟软件介绍第49页
    5.2 求解器使用的磁场基本理论第49-51页
    5.3 建模第51-59页
        5.3.1 阴极的建模第53-55页
        5.3.2 阳极的建模第55-56页
        5.3.3 聚焦线圈的建模第56-57页
        5.3.4 偏转线圈的建模第57-59页
    5.4 模型仿真与分析第59-61页
    5.5 线圈匝数对磁场的影响第61-62页
    5.6 二次聚焦线圈对电子束偏转的影响第62-63页
    5.7 偏转机构的仿真和优化第63-72页
    5.8 本章小结第72-73页
第6章 结论与展望第73-75页
    6.1 结论第73页
    6.2 展望第73-75页
参考文献第75-79页
致谢第79页

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