真空电子束熔炼炉电子枪偏转机构的设计与仿真
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 课题研究背景与意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 课题研究内容和手段 | 第14-16页 |
| 1.3.1 实验手段和内容 | 第14-15页 |
| 1.3.2 计算机模拟 | 第15-16页 |
| 1.4 课题来源及研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 电子枪及其应用 | 第17-31页 |
| 2.1 电子枪简介 | 第17-18页 |
| 2.2 电子枪的构成和基本原理 | 第18页 |
| 2.3 电子光学基本原理 | 第18-25页 |
| 2.3.1 电子在电场中的运动 | 第20-22页 |
| 2.3.2 电子在电场中的运动 | 第22-25页 |
| 2.4 电子枪的基础理论 | 第25-28页 |
| 2.4.1 阴极 | 第25-26页 |
| 2.4.2 电子枪聚集线圈 | 第26-27页 |
| 2.4.3 电子枪偏转线圈 | 第27-28页 |
| 2.5 KSR——系列电子枪的结构 | 第28-30页 |
| 2.6 电子枪的应用 | 第30页 |
| 2.7 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 磁偏转系统及扫描系统 | 第31-43页 |
| 3.1 偏转磁场的分布 | 第31-33页 |
| 3.2 磁场分布规律和线圈结构关系 | 第33-35页 |
| 3.3 均匀磁场的获得 | 第35-36页 |
| 3.4 电子束图形扫描原理 | 第36-37页 |
| 3.5 磁偏转系统的像差 | 第37-41页 |
| 3.5.1 磁偏转场的电子轨迹 | 第37-39页 |
| 3.5.2 偏转象散和场曲 | 第39-41页 |
| 3.5.3 慧差 | 第41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 鞍形线圈的结构及工作原理 | 第43-49页 |
| 4.1 线圈模的结构 | 第43-45页 |
| 4.2 线圈绕线方法的设计 | 第45-46页 |
| 4.3 鞍形线圈的工作原理及计算 | 第46-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 第5章 电磁场的仿真和模拟分析 | 第49-73页 |
| 5.1 CST粒子模拟软件介绍 | 第49页 |
| 5.2 求解器使用的磁场基本理论 | 第49-51页 |
| 5.3 建模 | 第51-59页 |
| 5.3.1 阴极的建模 | 第53-55页 |
| 5.3.2 阳极的建模 | 第55-56页 |
| 5.3.3 聚焦线圈的建模 | 第56-57页 |
| 5.3.4 偏转线圈的建模 | 第57-59页 |
| 5.4 模型仿真与分析 | 第59-61页 |
| 5.5 线圈匝数对磁场的影响 | 第61-62页 |
| 5.6 二次聚焦线圈对电子束偏转的影响 | 第62-63页 |
| 5.7 偏转机构的仿真和优化 | 第63-72页 |
| 5.8 本章小结 | 第72-73页 |
| 第6章 结论与展望 | 第73-75页 |
| 6.1 结论 | 第73页 |
| 6.2 展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
