新型EW0D数字微流控芯片研究
| 摘要 | 第9-10页 |
| Abstract | 第10页 |
| 第1章 绪论 | 第11-35页 |
| 1.1 MEMS技术及芯片实验室 | 第11-12页 |
| 1.2 微流体技术 | 第12-14页 |
| 1.3 EWOD数字微流体技术研究情况 | 第14-33页 |
| 1.3.1 理论研究 | 第16-17页 |
| 1.3.2 芯片研究 | 第17-28页 |
| 1.3.3 应用研究 | 第28-32页 |
| 1.3.4 面临挑战 | 第32-33页 |
| 1.4 研究内容及意义 | 第33-34页 |
| 1.5 论文安排 | 第34-35页 |
| 第2章 理论基础 | 第35-50页 |
| 2.1 静态EWOD | 第35-43页 |
| 2.1.1 介质上电润湿及L-Y方程 | 第35-37页 |
| 2.1.2 接触角滞后效应 | 第37-39页 |
| 2.1.3 接触角饱和效应 | 第39-41页 |
| 2.1.4 电极性相关EWOD | 第41-42页 |
| 2.1.5 频率相关EWOD | 第42-43页 |
| 2.2 动态EWOD | 第43-49页 |
| 2.2.1 驱动力 | 第43-44页 |
| 2.2.2 阈值驱动电压 | 第44-45页 |
| 2.2.3 驱动速度 | 第45-46页 |
| 2.2.4 液滴基本操控 | 第46-49页 |
| 2.3 本章小结 | 第49-50页 |
| 第3章 新型EWOD芯片的介质层研究 | 第50-73页 |
| 3.1 研究背景 | 第50-52页 |
| 3.2 新型介质材料CEP | 第52-55页 |
| 3.3 CEP的介质特性研究 | 第55-57页 |
| 3.4 CEP的EWOD特性研究 | 第57-67页 |
| 3.4.1 静态EWOD | 第58-59页 |
| 3.4.2 电极性相关EWOD | 第59-65页 |
| 3.4.3 频率相关EWOD | 第65-67页 |
| 3.5 基于CEP介质的EWOD芯片驱动研究 | 第67-72页 |
| 3.6 本章小结 | 第72-73页 |
| 第4章 新型EWOD芯片液滴操控度研究 | 第73-102页 |
| 4.1 研究背景 | 第73-74页 |
| 4.2 新型EWOD芯片精准液滴产生 | 第74-90页 |
| 4.2.1 传统液滴产生的问题 | 第74-76页 |
| 4.2.2 传统液滴产生结构研究 | 第76-83页 |
| 4.2.3 新型液滴产生结构研究 | 第83-90页 |
| 4.3 新型EWOD芯片大小液滴驱动 | 第90-101页 |
| 4.3.1 结构设计 | 第90-96页 |
| 4.3.2 实验过程 | 第96-97页 |
| 4.3.3 实验结果 | 第97-101页 |
| 4.4 本章小结 | 第101-102页 |
| 第5章 新型EWOD芯片电化学集成研究 | 第102-117页 |
| 5.1 电化学集成研究背景 | 第102-103页 |
| 5.2 新型EWOD芯片集成研究过程 | 第103-113页 |
| 5.2.1 芯片设计 | 第103-106页 |
| 5.2.2 芯片制备 | 第106-111页 |
| 5.2.3 系统搭建 | 第111-113页 |
| 5.3 电化学集成EWOD芯片研究结果 | 第113-116页 |
| 5.4 本章小结 | 第116-117页 |
| 第6章 总结及展望 | 第117-120页 |
| 参考文献 | 第120-132页 |
| 致谢 | 第132-133页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第133-134页 |
