| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外对光吸收谱激光稳频技术的研究现状 | 第11-16页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 典型干涉测量系统原理及光源特性需求分析 | 第18-27页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 激光外差干涉测量原理及在光刻机系统中的应用分析 | 第18-21页 |
| 2.2.1 激光外差干涉测量原理 | 第18-20页 |
| 2.2.2 光刻机中位移测量对光源频率稳定性需求分析 | 第20-21页 |
| 2.3 光栅干涉测量原理及在双工件台系统中的应用分析 | 第21-26页 |
| 2.3.1 光栅干涉测量原理 | 第21-23页 |
| 2.3.2 双工件台中位移测量对光源性能需求分析 | 第23-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 碘吸收谱外调制式三次谐波解调技术研究 | 第27-39页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 碘吸收谱外调制三次谐波稳频原理分析 | 第27-28页 |
| 3.3 基于三次谐波解调的鉴频曲线获取技术研究 | 第28-35页 |
| 3.3.1 碘分子超精细吸收峰的特性研究 | 第28-32页 |
| 3.3.2 调制信号三次谐波解调技术研究 | 第32-35页 |
| 3.4 基于声光移频器的激光外调制技术分析 | 第35-37页 |
| 3.5 调制深度仿真试验 | 第37-38页 |
| 3.6 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 碘吸收谱三次谐波解调模块及控制单元设计 | 第39-53页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 碘吸收谱三次谐波解调模块及控制单元总体方案 | 第39-40页 |
| 4.3 调制解调模块设计 | 第40-43页 |
| 4.3.1 调制解调模块硬件设计 | 第40-41页 |
| 4.3.2 调制解调模块软件设计 | 第41-43页 |
| 4.4 双参数分级扫描控制单元设计 | 第43-51页 |
| 4.4.1 双参数分级扫描控制单元硬件设计 | 第43-44页 |
| 4.4.2 双参数分级扫描控制单元软件设计 | 第44-47页 |
| 4.4.3 超精细吸收谱识别方法设计 | 第47-49页 |
| 4.4.4 反馈控制单元的控制算法设计 | 第49-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-53页 |
| 第5章 碘吸收谱三次谐波稳频装置设计及实验分析 | 第53-71页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 碘吸收谱三次谐波稳频实验装置设计 | 第53-58页 |
| 5.2.1 调制光光路结构设计 | 第53-56页 |
| 5.2.2 稳频装置结构布局设计 | 第56-58页 |
| 5.3 碘光谱三次谐波稳频实验分析 | 第58-70页 |
| 5.3.1 解调控制板模数转换、数模转换模块测试 | 第58-59页 |
| 5.3.2 碘分子超精细峰探测实验 | 第59-61页 |
| 5.3.3 解调模块功能验证实验 | 第61-63页 |
| 5.3.4 超精细吸收峰识别功能验证实验 | 第63-64页 |
| 5.3.5 稳频控制实验及分析 | 第64-70页 |
| 5.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 附录 碘分子R(121)35-0 谱线数据 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
