考虑残余应力影响的谐振式生化传感器微膜动态特性研究
| 摘要 | 第11-13页 |
| Abstract | 第13-15页 |
| 第1章 绪论 | 第16-28页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第16页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第16-25页 |
| 1.2.1 谐振式微膜生化传感器的发展 | 第17-20页 |
| 1.2.2 薄膜残余应力的研究 | 第20-22页 |
| 1.2.3 薄膜与液体耦合振动的研究 | 第22-24页 |
| 1.2.4 研究存在的问题 | 第24-25页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第25-28页 |
| 第2章 微膜残余应力研究 | 第28-52页 |
| 2.1 引言 | 第28页 |
| 2.2 微膜残余应力分析 | 第28-31页 |
| 2.2.1 热失配应力 | 第28-30页 |
| 2.2.2 本征应力 | 第30-31页 |
| 2.3 单层膜残余应力研究 | 第31-32页 |
| 2.4 复合膜残余应力研究 | 第32-49页 |
| 2.4.1 残余应力在复合膜中的分布状态 | 第32-39页 |
| 2.4.2 残余应力对复合膜压曲的影响 | 第39-41页 |
| 2.4.3 残余应力对复合膜变形的影响 | 第41-44页 |
| 2.4.4 残余应力对复合膜固有频率的影响 | 第44-47页 |
| 2.4.5 数值结果与分析 | 第47-49页 |
| 2.5 本章小结 | 第49-52页 |
| 第3章 微膜在气体介质中的动态特性 | 第52-64页 |
| 3.1 引言 | 第52页 |
| 3.2 微膜数学模型 | 第52页 |
| 3.3 无阻尼自由振动 | 第52-55页 |
| 3.4 板-膜行为特性的判定 | 第55-59页 |
| 3.4.1 板模型 | 第55-56页 |
| 3.4.2 膜模型 | 第56页 |
| 3.4.3 板-膜行为转变 | 第56-59页 |
| 3.5 有阻尼受迫振动 | 第59-60页 |
| 3.6 数值结果与分析 | 第60-62页 |
| 3.7 本章小结 | 第62-64页 |
| 第4章 吸附物对微膜固有频率的影响 | 第64-78页 |
| 4.1 引言 | 第64页 |
| 4.2 考虑吸附物影响的微膜数学模型 | 第64-68页 |
| 4.3 吸附物对固有频率变化的影响 | 第68-75页 |
| 4.3.1 整体吸附 | 第69-74页 |
| 4.3.2 部分吸附 | 第74-75页 |
| 4.4 本章小结 | 第75-78页 |
| 第5章 微膜在液体介质中的自振特性 | 第78-98页 |
| 5.1 引言 | 第78页 |
| 5.2 微膜与液体的接触自由振动 | 第78-80页 |
| 5.3 假设振型法 | 第80-91页 |
| 5.3.1 液体速度势的计算 | 第80-82页 |
| 5.3.2 无量纲附加质量因子 | 第82-86页 |
| 5.3.3 液膜耦合频率分析 | 第86-91页 |
| 5.4 Rayleigh-Ritz法 | 第91-96页 |
| 5.4.1 试函数的选取 | 第91-92页 |
| 5.4.2 系统的特征值 | 第92-93页 |
| 5.4.3 数值结果与分析 | 第93-96页 |
| 5.5 本章小结 | 第96-98页 |
| 第6章 微膜在液体介质中的响应特性 | 第98-110页 |
| 6.1 引言 | 第98页 |
| 6.2 液膜耦合的动力学响应模型 | 第98-99页 |
| 6.3 微膜在液体介质中的有效质量 | 第99页 |
| 6.4 液体介质对质量灵敏度的影响 | 第99-100页 |
| 6.5 微膜在液体介质中的品质因子 | 第100-103页 |
| 6.5.1 能量耗散机理 | 第100-101页 |
| 6.5.2 声辐射阻尼 | 第101-103页 |
| 6.6 微膜在液体介质中的受迫振动 | 第103-105页 |
| 6.7 数值结果与分析 | 第105-108页 |
| 6.8 本章小结 | 第108-110页 |
| 结论与展望 | 第110-114页 |
| 结论 | 第110-111页 |
| 创新点 | 第111-112页 |
| 展望 | 第112-114页 |
| 参考文献 | 第114-130页 |
| 致谢 | 第130-132页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文及参与的科研项目 | 第132-133页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第132页 |
| 攻读博士学位期间参与的科研项目 | 第132-133页 |
| 附件1 | 第133-152页 |
| 附件2 | 第152页 |
