压电式喷墨打印头腔室的制作工艺研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 引言 | 第9-12页 |
| 1.2 腔室的制造方法 | 第12-18页 |
| 1.3 本文研究主要内容 | 第18-19页 |
| 2 压电式喷墨头的工作原理及喷墨腔室键合原理 | 第19-30页 |
| 2.1 MEMS工艺概述 | 第19-20页 |
| 2.2 压电式喷墨头的工作原理 | 第20-25页 |
| 2.2.1 压电效应 | 第20-21页 |
| 2.2.2 压电材料 | 第21页 |
| 2.2.3 压电材料的振动模态 | 第21-23页 |
| 2.2.4 压电式喷墨头的工作原理 | 第23-25页 |
| 2.3 喷墨腔室的键合原理 | 第25-28页 |
| 2.3.1 激光焊接和微波焊接 | 第25页 |
| 2.3.2 胶粘接键合 | 第25-26页 |
| 2.3.3 溶剂键合 | 第26页 |
| 2.3.4 超声波键合 | 第26-27页 |
| 2.3.5 直接热键合 | 第27-28页 |
| 2.5 压电式喷墨头的三维结构 | 第28-29页 |
| 2.6 本章小结 | 第29-30页 |
| 3 喷墨腔室的结构设计与制作 | 第30-52页 |
| 3.1 SU-8胶简介 | 第30-31页 |
| 3.2 喷墨腔室的制作工艺 | 第31-33页 |
| 3.3 键合实验方案 | 第33-37页 |
| 3.3.1 键合实验步骤 | 第34-35页 |
| 3.3.2 影响键合的因素 | 第35-37页 |
| 3.4 键合层喷墨孔的制作 | 第37-49页 |
| 3.4.1 防反射层的使用 | 第38-41页 |
| 3.4.2 键合夹具的改进 | 第41-44页 |
| 3.4.3 提高SU-8胶表面能 | 第44-45页 |
| 3.4.4 键合压力对喷墨孔的影响 | 第45-49页 |
| 3.5 喷孔层的设计 | 第49-50页 |
| 3.6 本章小结 | 第50-52页 |
| 4 实验测试 | 第52-57页 |
| 4.1 键合强度的测定 | 第52-53页 |
| 4.2 喷墨测试 | 第53-55页 |
| 4.2.1 喷墨测试实验系统 | 第53-54页 |
| 4.2.2 喷墨测试 | 第54-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
