| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 蓝宝石晶体性质 | 第10-11页 |
| 1.2 蓝宝石晶体应用及前景 | 第11-14页 |
| 1.2.1 窗口材料 | 第11-12页 |
| 1.2.2 衬底基片 | 第12-13页 |
| 1.2.3 激光、光学元件 | 第13-14页 |
| 1.3 蓝宝石晶体生长方法简介 | 第14-19页 |
| 1.3.1 直拉法(Czochralski method) | 第14-16页 |
| 1.3.2 导膜法(Edge-defined Film-fed Growth, EFG) | 第16页 |
| 1.3.3 热交换法(Heat Exchanger Method) | 第16-17页 |
| 1.3.4 坩埚移动法(Bridgman-Stockbarger method) | 第17-18页 |
| 1.3.5 泡生法(Kyropoulos method) | 第18-19页 |
| 1.4 本论文研究的内容 | 第19-21页 |
| 第2章 泡生发晶体生长原理及其理论模型 | 第21-31页 |
| 2.1 泡生法晶体生长 | 第21-22页 |
| 2.2 晶体缺陷与检测 | 第22-25页 |
| 2.2.1 应力及开裂 | 第22-23页 |
| 2.2.2 气泡 | 第23-24页 |
| 2.2.3 位错 | 第24-25页 |
| 2.2.4 双晶摇摆曲线 | 第25页 |
| 2.3 钼屏表层测量 | 第25-26页 |
| 2.4 理论模型 | 第26-30页 |
| 2.4.1 理论模型建立 | 第26-27页 |
| 2.4.2 软件模拟 | 第27-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 钼屏老化机制探究 | 第31-47页 |
| 3.1 钼屏反射率测量及其表面 3D表征 | 第31-36页 |
| 3.2 理论计算结果分析 | 第36-44页 |
| 3.2.1 引晶 | 第37-39页 |
| 3.2.2 放肩 | 第39-42页 |
| 3.2.3 等径 | 第42-44页 |
| 3.3 实验结果及其分析 | 第44-45页 |
| 3.4 本章结论 | 第45-47页 |
| 第4章 氧化铝、氧化锆和钼组合屏性能研究 | 第47-59页 |
| 4.1 确定钼屏层数 | 第47-50页 |
| 4.2 确定锆石的厚度 | 第50-52页 |
| 4.3 确定底部保温系统锆石厚度、钼屏层数 | 第52-54页 |
| 4.4 微调温场，评估最终温场 | 第54-58页 |
| 4.4.1 功耗 | 第55页 |
| 4.4.2 温度梯度 | 第55-57页 |
| 4.4.3 固液面及应力分布 | 第57-58页 |
| 4.4.4 液流 | 第58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 200-300kg级单晶炉温场探究 | 第59-65页 |
| 5.1 温场保温效果测试 | 第59-60页 |
| 5.2 功耗和最高温度对比 | 第60-61页 |
| 5.3 轴向和径向温度梯度 | 第61-62页 |
| 5.4 固液面形状和应力分布 | 第62-63页 |
| 5.5 熔体液流情况 | 第63-64页 |
| 5.6 总结 | 第64-65页 |
| 第6章 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读硕士期间的研究成果 | 第69页 |
