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脉冲射流对大气压射频辉光放电过程的时空辅助研究

摘要第4-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第10-20页
    1.1 等离子体概述第10页
    1.2 大气压等离子体射流第10-13页
        1.2.1 大气压等离子体射流原理第11页
        1.2.2 大气压等离子体射流研究现状第11-13页
    1.3 大气压辉光放电第13-19页
        1.3.1 大气压脉冲放电第13-15页
        1.3.2 大气压射频放电第15-16页
        1.3.3 大气压脉冲调制射频放电第16-18页
        1.3.4 大气压脉冲放电协同调制射频放电第18-19页
    1.4 本文研究的主要内容第19-20页
第二章 实验仪器及诊断第20-29页
    2.1 等离子体源系统第20-22页
        2.1.1 信号发生器第20-21页
        2.1.2 高压直流源第21页
        2.1.3 脉冲开关第21-22页
        2.1.4 射频电源第22页
        2.1.5 电极结构第22页
    2.2 电学诊断系统第22-23页
        2.2.1 数字示波器第23页
        2.2.2 电压探头和电流探头第23页
    2.3 光学诊断系统第23-25页
        2.3.1 增强型电荷耦合器件第24-25页
        2.3.2 光栅光谱仪第25页
    2.4 数值模拟的基础第25-29页
第三章 大气压脉冲放电协同连续射频放电第29-40页
    3.1 概述第29页
    3.2 脉冲射流协同连续射频放电的电学特性第29-30页
    3.3 脉冲放电协同连续射频放电光学诊断第30-37页
        3.3.1 脉冲放电辅助射频放电的时空分布第30-33页
        3.3.2 连续射频放电区域放电时空分布第33-35页
        3.3.3 射频放电发射光谱第35-37页
    3.4 大气压脉冲放电协同连续射频放电的影响第37-39页
    3.5 本章小结第39-40页
第四章 脉冲放电协同脉冲调制射频放电第40-52页
    4.1 概述第40页
    4.2 脉冲放电协同调制射频放电的电学特性第40-42页
    4.3 脉冲放电协同脉冲调制射频放电的光学诊断第42-44页
    4.4 数值模拟结果与讨论第44-51页
        4.4.1 数值模拟条件和模型第44-46页
        4.4.2 脉冲放电协同调制射频放电HE粒子电离系数第46-47页
        4.4.3 脉冲放电协同调制射频放电电子密度的时空分布第47-51页
    4.5 本章小结第51-52页
第五章 总结第52-53页
参考文献第53-57页
攻读学位期间的研究成果第57-58页
致谢第58页

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