| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第14-37页 |
| 1.1 选题背景及意义 | 第14-15页 |
| 1.2 PLZT陶瓷国内外应用及研究现状 | 第15-23页 |
| 1.2.1 PLZT陶瓷反常光生伏特效应及其应用 | 第15-19页 |
| 1.2.2 PLZT陶瓷光致伸缩效应及其应用 | 第19-23页 |
| 1.3 MOEMS微镜系统及应用现状 | 第23-30页 |
| 1.3.1 MOEMS微镜在光通信领域的应用 | 第24-25页 |
| 1.3.2 MOEMS微镜在投影显示领域的应用 | 第25-27页 |
| 1.3.3 MOEMS微镜在生物医疗成像领域的应用 | 第27-30页 |
| 1.4 MOEMS微镜驱动技术 | 第30-34页 |
| 1.4.1 压电驱动式微镜 | 第30-31页 |
| 1.4.2 静电驱动式微镜 | 第31-32页 |
| 1.4.3 电热驱动式微镜 | 第32页 |
| 1.4.4 电磁驱动式微镜 | 第32-33页 |
| 1.4.5 MOEMS微镜驱动机制比较 | 第33-34页 |
| 1.5 论文研究的关键问题 | 第34页 |
| 1.6 论文的研究内容及结构 | 第34-37页 |
| 2 0-1极化PLZT陶瓷光致特性及影响因素实验研究 | 第37-52页 |
| 2.1 PLZT陶瓷的光致特性 | 第37-40页 |
| 2.1.1 PLZT陶瓷的固溶体系及物理性能 | 第37-38页 |
| 2.1.2 反常光生伏特效应 | 第38-39页 |
| 2.1.3 光致伸缩效应 | 第39-40页 |
| 2.2 0-1极化PLZT陶瓷光致特性静态实验 | 第40-45页 |
| 2.2.1 0-1极化PLZT陶瓷试件制备 | 第40页 |
| 2.2.2 实验装置及测试流程 | 第40-41页 |
| 2.2.3 光致特性静态实验结果及分析 | 第41-45页 |
| 2.3 0-1极化PLZT陶瓷光致特性影响因素验证实验 | 第45-48页 |
| 2.3.1 光致特性影响因素理论分析 | 第45页 |
| 2.3.2 光致特性影响因素验证实验方案 | 第45-46页 |
| 2.3.3 光致特性影响因素验证实验结果与分析 | 第46-48页 |
| 2.4 实验现象理论分析 | 第48-51页 |
| 2.4.1 迟滞现象理论分析 | 第48-49页 |
| 2.4.2 光生电压变化趋势理论分析 | 第49-51页 |
| 2.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 3 0-1极化PLZT陶瓷光致多物理场耦合特性及理论建模 | 第52-72页 |
| 3.1 0-1极化PLZT陶瓷光致多物理场耦合机制分析 | 第52-54页 |
| 3.2 0-1极化PLZT陶瓷光致多物理场耦合效应机理 | 第54-56页 |
| 3.2.1 反常光生伏特效应机理 | 第54-55页 |
| 3.2.2 热释电效应机理 | 第55-56页 |
| 3.2.3 压电效应机理 | 第56页 |
| 3.3 光照阶段0-1极化PLZT陶瓷光致多物理场数学模型 | 第56-60页 |
| 3.3.1 光致多物理场数学模型构建 | 第57-59页 |
| 3.3.2 光致多物理场数学模型理论分析 | 第59-60页 |
| 3.4 0-1极化PLZT陶瓷多物理场数学模型实验验证 | 第60-66页 |
| 3.4.1 光致温度数学模型验证 | 第61-62页 |
| 3.4.2 光生电压数学模型验证 | 第62-64页 |
| 3.4.3 光致形变数学模型验证 | 第64-66页 |
| 3.5 光停阶段0-1极化PLZT陶瓷多物理场数学模型 | 第66-71页 |
| 3.5.1 光停阶段多物理场数学模型 | 第66-67页 |
| 3.5.2 光停阶段残余电压/应变分析 | 第67-71页 |
| 3.6 本章小结 | 第71-72页 |
| 4 0-1极化PLZT陶瓷光致响应改进措施及新型光控复合驱动研究 | 第72-91页 |
| 4.1 0-1极化PLZT陶瓷光致响应分析 | 第72-75页 |
| 4.2 0-1极化PLZT陶瓷驱动性能改进措施及实验验证 | 第75-79页 |
| 4.2.1 隔离光致温升 | 第76-77页 |
| 4.2.2 光停电极接地 | 第77-78页 |
| 4.2.3 光停反向驱动 | 第78-79页 |
| 4.3 基于0-1极化PLZT陶瓷光致电场的新型光控复合驱动机制 | 第79-83页 |
| 4.3.1 0-1极化PLZT陶瓷串联驱动机制 | 第79-80页 |
| 4.3.2 0-1极化PLZT陶瓷负载电极板电容 | 第80-83页 |
| 4.4 光控微镜平移机构的新型执行元件 | 第83-90页 |
| 4.4.1 新型执行元件光控复合驱动构型 | 第83-84页 |
| 4.4.2 新型执行元件激励性能 | 第84-86页 |
| 4.4.3 新型执行元件激励性能分析 | 第86-89页 |
| 4.4.4 新型执行元件驱动性能计算及仿真 | 第89-90页 |
| 4.5 本章小结 | 第90-91页 |
| 5 光控PLZT陶瓷驱动微镜结构设计及性能研究 | 第91-114页 |
| 5.1 光控PLZT陶瓷驱动微镜总体结构设计及性能分析 | 第91-101页 |
| 5.1.1 微镜平移机构设计方案 | 第91-99页 |
| 5.1.2 微镜旋转机构设计方案 | 第99-101页 |
| 5.2 微镜平移机构设计计算及性能分析 | 第101-109页 |
| 5.2.1 微镜平移机构的刚度分析 | 第101-103页 |
| 5.2.2 微镜平移机构的输出位移 | 第103页 |
| 5.2.3 微镜平移机构的固有频率分析 | 第103-104页 |
| 5.2.4 微镜平移机构的尺寸参数 | 第104-106页 |
| 5.2.5 微镜平移机构有限元分析 | 第106-109页 |
| 5.3 光控PLZT陶瓷驱动微镜的旋转机构设计 | 第109-112页 |
| 5.3.1 光电-静电复合驱动扭转微镜的旋转角度 | 第110-111页 |
| 5.3.2 算例分析 | 第111-112页 |
| 5.4 本章小结 | 第112-114页 |
| 6 光控微镜伺服系统控制策略原理性实验研究 | 第114-132页 |
| 6.1 单片0-1极化PLZT陶瓷光致形变ON-OFF闭环控制实验 | 第114-126页 |
| 6.1.1 光致形变ON-OFF控制理论模型 | 第115-116页 |
| 6.1.2 光致形变表达式参数识别 | 第116-118页 |
| 6.1.3 光致形变ON-OFF闭环控制仿真 | 第118-120页 |
| 6.1.4 光致形变ON-OFF闭环控制实验 | 第120-124页 |
| 6.1.5 ON-OFF闭环控制策略改进及多目标位移控制实验 | 第124-126页 |
| 6.2 光控微镜伺服系统光生电压动态控制实验研究 | 第126-131页 |
| 6.2.1 单片0-1极化PLZT陶瓷光生电压ON-OFF闭环控制实验 | 第127-129页 |
| 6.2.2 PLZT双晶片光生电压双光源控制实验 | 第129-131页 |
| 6.3 本章小结 | 第131-132页 |
| 结论 | 第132-135页 |
| 致谢 | 第135-136页 |
| 参考文献 | 第136-148页 |
| 附录 | 第148-149页 |
