高灵敏度压阻式碳化硅压力传感器设计与仿真
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 文献综述 | 第9-27页 |
| ·传感器 | 第9-10页 |
| ·压力传感器 | 第10-22页 |
| ·电容式压力传感器 | 第11-12页 |
| ·压电式压力传感器 | 第12-13页 |
| ·电阻应变式压力传感器 | 第13-15页 |
| ·压阻式压力传感器 | 第15-22页 |
| ·压阻效应 | 第16-17页 |
| ·发展历程 | 第17-19页 |
| ·主要应用领域 | 第19-20页 |
| ·优缺点 | 第20-22页 |
| ·压阻式碳化硅压力传感器 | 第22-24页 |
| ·提高硅压力传感器的工作温度 | 第22-23页 |
| ·碳化硅高温压力传感器 | 第23-24页 |
| ·ANSYS仿真在压力传感器设计中的应用 | 第24-25页 |
| ·本课题研究的意义与主要内容 | 第25-27页 |
| 第二章 SiC压力传感器的芯片设计与仿真 | 第27-43页 |
| ·敏感膜片设计与仿真 | 第27-35页 |
| ·理论基础 | 第27-29页 |
| ·敏感膜片尺寸设计 | 第29-31页 |
| ·敏感膜片的仿真 | 第31-35页 |
| ·压阻条设计与仿真 | 第35-42页 |
| ·理论基础 | 第35-36页 |
| ·压阻条的尺寸设计 | 第36-37页 |
| ·压阻条的位置设计 | 第37-38页 |
| ·压阻分析 | 第38-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 SiC压力传感器的输出特性与热特性仿真 | 第43-53页 |
| ·传感器的输出特性仿真 | 第43-47页 |
| ·压阻条的位置对输出信号的影响 | 第43-44页 |
| ·压阻条的厚度对输出信号的影响 | 第44-45页 |
| ·敏感膜片尺寸对输出信号的影响 | 第45页 |
| ·温度对输出信号的影响 | 第45-47页 |
| ·传感器热效应 | 第47-52页 |
| ·传感器芯片的热效应 | 第47-48页 |
| ·封装芯片的热效应 | 第48-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 SiC压力传感器的结构动力学分析 | 第53-61页 |
| ·模态分析 | 第53-56页 |
| ·谐响应分析 | 第56-58页 |
| ·瞬态响应分析 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 总结与展望 | 第61-63页 |
| ·总结 | 第61-62页 |
| ·展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 附录 | 第68-71页 |
| 攻读硕士期间的主要研究成果 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
