外加偏置电场对薄膜的激光损伤影响研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·概论 | 第9页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-16页 |
| ·DLC薄膜性能结构研究 | 第10-11页 |
| ·影响DLC薄膜损伤阈值的因素 | 第11-13页 |
| ·提高光学薄膜激光损伤阈值的方法 | 第13-15页 |
| ·外加电场的典型研究 | 第15-16页 |
| ·本次课题研究内容的各章节安排 | 第16-17页 |
| 2 总体方案设计 | 第17-22页 |
| ·阈值测试装置建立及测试过程 | 第17-18页 |
| ·偏置电场下DLC薄膜损伤实验 | 第18-21页 |
| ·1-on-1方式 | 第18页 |
| ·DLC薄膜外加偏置电场 | 第18-19页 |
| ·实验测试步骤 | 第19-20页 |
| ·横向偏置电场实验 | 第20-21页 |
| ·纵向偏置电场实验 | 第21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 3 DLC薄膜制备及薄膜电极制备 | 第22-33页 |
| ·DLC薄膜制备 | 第22-29页 |
| ·DLC薄膜基本制备工艺 | 第22-24页 |
| ·实验用DLC薄膜 | 第24-26页 |
| ·对沉积薄膜光学性能测试 | 第26-29页 |
| ·磁控溅射DLC薄膜电极制备 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 4 外加偏置电场薄膜损伤测试实验及数据分析 | 第33-47页 |
| ·有偏压和无偏压实验对比 | 第33-34页 |
| ·横向偏置电压增加电场实验及数据分析 | 第34-41页 |
| ·实验数据的采集 | 第34-38页 |
| ·薄膜异面异侧横向电场 | 第38-41页 |
| ·纵向偏置电压增加电场实验及数据分析 | 第41-44页 |
| ·通过Raman光谱分析激光辐照薄膜变化 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 5 激光损伤机理分析及偏置电场对损伤的影响分析 | 第47-51页 |
| ·偏置电场对损伤的影响研究 | 第47-50页 |
| ·光导开关 | 第47页 |
| ·外加电场下的电子迁移 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 6 结论与展望 | 第51-53页 |
| ·论文结论 | 第51页 |
| ·下一步工作展望 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-60页 |
