等离子体源阴极优化方法探讨与设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| ·课题研究的目的 | 第8-9页 |
| ·课题研究的意义 | 第9页 |
| ·课题研究的背景和现状 | 第9-13页 |
| ·离子源的发展史 | 第9-10页 |
| ·课题研究的背景 | 第10页 |
| ·课题研究的国内外现状 | 第10-13页 |
| ·课题研究的思路和方法 | 第13-15页 |
| ·拟解决的关键问题 | 第14页 |
| ·技术路线和设计指标 | 第14页 |
| ·课题研究的创新之处 | 第14-15页 |
| ·课题究的主要内容 | 第15-16页 |
| 2 等离子体源的基础知识 | 第16-24页 |
| ·等离子体概述 | 第16-18页 |
| ·等离子体产生的方法 | 第16页 |
| ·气体放电与等离子体 | 第16-18页 |
| ·等离子体性质 | 第18页 |
| ·等离子体辅助镀膜 | 第18-19页 |
| ·空心阴极概述 | 第19-22页 |
| ·空心阴极放电机理 | 第19页 |
| ·空心阴极放电的主要特性 | 第19-20页 |
| ·空心阴极结构分类 | 第20-21页 |
| ·空心阴极效应发生的条件 | 第21-22页 |
| ·等离子体源工作原理 | 第22页 |
| ·本章小结 | 第22-24页 |
| 3 等离子体源结构设计 | 第24-34页 |
| ·方案一：管型空心阴极的等离子体源结构设计 | 第24-28页 |
| ·管型空心阴极的放电理论研究 | 第24-25页 |
| ·等离子体源的工作原理 | 第25页 |
| ·放电室结构设计 | 第25-27页 |
| ·电场系统的设计 | 第27页 |
| ·磁路系统的设计 | 第27-28页 |
| ·方案二：平行结构空心阴极等离子体源结构设计 | 第28-31页 |
| ·平行空心阴极的放电理论研究 | 第28页 |
| ·等离子体源的工作原理 | 第28-29页 |
| ·放电室结构设计 | 第29-30页 |
| ·电场系统的设计 | 第30-31页 |
| ·磁路系统的设计 | 第31页 |
| ·冷却系统和布气系统设计 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 4 等离子体源的电磁场模拟和离子轨迹模拟 | 第34-47页 |
| ·ANSYS数值模拟求解过程 | 第34-35页 |
| ·方案一：等离子体源的电磁场模拟分析 | 第35-38页 |
| ·磁场二维模拟与分析 | 第35-36页 |
| ·电场二维模拟与分析 | 第36-38页 |
| ·方案二：等离子体源的电磁场模拟 | 第38-44页 |
| ·磁场二维模拟与分析 | 第38-40页 |
| ·电场二维模拟与分析 | 第40-44页 |
| ·Simion模拟带电粒子运动轨迹 | 第44-45页 |
| ·管型结构等离子体源的离子运动轨迹 | 第44页 |
| ·平板结构等离子体源的粒子运动轨迹 | 第44-45页 |
| ·结论 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 5 结论与展望 | 第47-50页 |
| ·结论 | 第47页 |
| ·展望 | 第47-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-56页 |
| 附录 | 第56页 |
