| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·论文研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·振动能量采集微能源 | 第10-15页 |
| ·振动能量采集微能源类型及特点 | 第10-11页 |
| ·振动能量采集微能源国内外研究现状 | 第11-15页 |
| ·论文的提出及主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 MEMS 压电-磁电复合式微能源器件工作原理 | 第17-26页 |
| ·振动系统物理模型分析 | 第17-19页 |
| ·MEMS 压电式微能源器件工作原理 | 第19-23页 |
| ·MEMS 电磁式微能源器件工作原理 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 MEMS 压电-磁电复合式微能源器件优化设计 | 第26-38页 |
| ·压电-磁电复合式微能源器件整体结构设计 | 第26-32页 |
| ·压电敏感单元设计优化 | 第27-28页 |
| ·磁感应线圈设计优化 | 第28-32页 |
| ·压电-磁电复合式微能源器件结构工艺设计 | 第32-37页 |
| ·微能源结构工艺流程优化 | 第32-34页 |
| ·微能源结构版图设计优化 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 MEMS 压电-磁电复合式微能源器件加工制造 | 第38-61页 |
| ·硅基 PZT 压电薄膜异质集成 | 第38-42页 |
| ·溶胶-凝胶技术介绍 | 第38-39页 |
| ·Sol-Gel 法制备 PZT 压电薄膜 | 第39-42页 |
| ·压电-磁电复合式微能源器件 MEMS 工艺研究 | 第42-59页 |
| ·PZT 薄膜刻蚀工艺 | 第43-47页 |
| ·下电极 Pt/Ti 层刻蚀工艺 | 第47-48页 |
| ·上电极和线圈加工工艺 | 第48-51页 |
| ·绝缘层 Si_3N_4沉积工艺 | 第51-52页 |
| ·再次沉积金属层工艺 | 第52-54页 |
| ·硅基底刻蚀工艺 | 第54-57页 |
| ·划片工艺 | 第57-58页 |
| ·键合工艺 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 MEMS 压电-磁电复合式微能源器件性能测试 | 第61-68页 |
| ·压电-磁电复合式微能源器件性能测试系统 | 第61-62页 |
| ·压电-磁电复合式微能源器件测试研究 | 第62-67页 |
| ·微能源器件谐振频率测试 | 第63页 |
| ·微能源器件压电输出性能测试 | 第63-66页 |
| ·微能源器件磁电输出性能测试 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 总结与展望 | 第68-71页 |
| ·主要研究内容及结论 | 第68-69页 |
| ·主要创新点 | 第69页 |
| ·未来工作展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 攻读硕士学位期间所取得的研究成果 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
