MEMS压电式同位素电池的设计与模拟

摘要	第1-5页
Abstract	第5-6页
目录	第6-8页
第一章 绪论	第8-18页
·课题研究的背景及意义	第8-9页
·同位素电池的国内外研究现状	第9-17页
·RTG 同位素电池	第10-12页
·辐射伏特效应同位素电池	第12-15页
·压电悬臂梁式同位素电池	第15-17页
·论文的主要研究内容	第17-18页
第二章 MEMS 压电式同位素电池理论分析	第18-31页
·引言	第18页
·MEMS 压电式同位素电池的工作原理	第18-26页
·同位素电池充--放电执行单元的动力学分析	第19-22页
·压电单元的发电原理	第22-24页
·辐射能到电能的转换效率	第24-26页
·同位素源与压电材料的选择	第26-31页
·放射性同位素的选择	第26-27页
·放射同位素薄膜的设计	第27-29页
·压电材料的选择	第29-31页
第三章 MEMS 压电式同位素电池的模拟仿真	第31-44页
·引言	第31页
·压电式同位素电池的有限元分析	第31-38页
·仿真模型的建立	第32-33页
·尺寸参数设计	第33-34页
·静态分析	第34-36页
·模态分析	第36-38页
·运用 simulink 进行性能分析	第38-44页
·压电式同位素电池系统框图构建	第39-41页
·仿真输出结果与分析	第41-44页
第四章 MEMS 压电式同位素电池的工艺研究	第44-53页
·引言	第44页
·MEMS 压电式同位素电池的工艺设计	第44-47页
·硅片的加工流程	第44-45页
·掩膜图样	第45-47页
·工艺流程技术难点研究	第47-53页
·溶胶凝胶法制作压电薄膜	第47-48页
·衬底和底电极的选择	第48-49页
·PZT 薄膜的制备的工艺流程	第49-53页
第五章 总结与展望	第53-54页
参考文献	第54-58页
攻读硕士学位期间发表的学术论文及所取得的研究成果	第58-59页
致谢	第59-60页