换能器振子频率的影响因素研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·研究背景 | 第8-11页 |
| ·微电子封装发展概述 | 第8-9页 |
| ·国内外封装现状 | 第9页 |
| ·国内发展机遇及挑战 | 第9-11页 |
| ·超声键合用换能器发展现状 | 第11-14页 |
| ·概述 | 第11页 |
| ·换能器发展现状 | 第11-13页 |
| ·换能器振子的作用 | 第13-14页 |
| ·国内外相关研究 | 第14-16页 |
| ·课题研究意义 | 第16-18页 |
| ·研究意义 | 第16页 |
| ·本文研究内容 | 第16页 |
| ·课题来源 | 第16-18页 |
| 第二章 换能器振子的设计理论与方法 | 第18-30页 |
| ·夹心式压电陶瓷换能器结构 | 第18页 |
| ·换能器等效电路设计方法 | 第18-27页 |
| ·等效电路原理 | 第19-20页 |
| ·压电陶瓷等效电路 | 第20-23页 |
| ·换能器振子等效电路 | 第23-25页 |
| ·56KHZ换能器振子设计算例 | 第25-27页 |
| ·换能器振子的有限元分析法 | 第27-28页 |
| ·换能器振子加工与装配 | 第28-29页 |
| ·换能器振子的加工 | 第28-29页 |
| ·换能器振子的装配 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 换能器振子频率影响因素的仿真研究 | 第30-43页 |
| ·换能器振子频率的仿真平台 | 第30-33页 |
| ·压电材料的有限元方法 | 第30-31页 |
| ·换能器振子模型的建立 | 第31-33页 |
| ·预紧力对换能器振子频率的影响研究 | 第33-36页 |
| ·等效温度法施加预紧力 | 第33-36页 |
| ·PRETS179施加预紧力 | 第36页 |
| ·前后盖板尺寸对换能器振子频率的影响研究 | 第36-38页 |
| ·D_(33)参数对换能器振子频率的影响研究 | 第38-40页 |
| ·S_(33)参数对换能器振子频率的影响研究 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 换能器振子频率影响因素的实验研究 | 第43-74页 |
| ·预紧力对换能器频率的影响 | 第43-57页 |
| ·预紧力与换能器振子谐振频率关系的测量方法 | 第44-45页 |
| ·测量实验装置 | 第45-49页 |
| ·实验数据分析 | 第49-57页 |
| ·老化过程对换能器振子频率的影响实验 | 第57-62页 |
| ·第一组实验 | 第57-58页 |
| ·第二组实验 | 第58-60页 |
| ·第三组实验 | 第60-61页 |
| ·第四组实验 | 第61-62页 |
| ·老化过程对换能器频率的影响实验 | 第62-64页 |
| ·温度对换能器频率的影响实验 | 第64-68页 |
| ·温度对压电陶瓷片性能的影响 | 第65-66页 |
| ·温度对换能器谐振频率及阻抗的影响 | 第66-68页 |
| ·压电陶瓷片对换能器振子频率的影响 | 第68-72页 |
| ·国产与进口压电陶瓷片特性 | 第68-69页 |
| ·压电陶瓷片频率对换能器振子频率的影响 | 第69-72页 |
| ·本章小结 | 第72-74页 |
| 第五章 考虑预紧力的换能器振子等效电路 | 第74-86页 |
| ·压电陶瓷长度伸缩振动模式 | 第74-78页 |
| ·自由振动模式下的等效电路 | 第75-76页 |
| ·非自由振动模式下的等效电路 | 第76-78页 |
| ·厚度方向振动模式 | 第78-81页 |
| ·自由振动模式下的等效电路 | 第78-80页 |
| ·非自由振动模式下的等效电路 | 第80-81页 |
| ·考虑预紧力的换能器振子等效电路 | 第81-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第六章 总结 | 第86-88页 |
| ·全文总结 | 第86页 |
| ·重要结论 | 第86-87页 |
| ·展望 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第93页 |