| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 文献综述 | 第8-23页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·热沉材料的特点 | 第8-9页 |
| ·国内外发展状况 | 第9-11页 |
| ·纯铜的性能与应用 | 第11-16页 |
| ·纯铜的性能 | 第11-13页 |
| ·铜的应用 | 第13-15页 |
| ·工业上铜的主要缺点 | 第15-16页 |
| ·金刚石的结构性能与应用 | 第16-22页 |
| ·金刚石的结构 | 第16-17页 |
| ·金刚石的性能 | 第17-19页 |
| ·金刚石薄膜制备技术的分类 | 第19-22页 |
| ·研究的目的和意义 | 第22-23页 |
| 第二章 实验原理与方法 | 第23-31页 |
| ·热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜的原理 | 第23-24页 |
| ·实验设备与仪器 | 第24-26页 |
| ·热丝反应系统 | 第24页 |
| ·控制系统 | 第24-26页 |
| ·薄膜样品制备与工艺 | 第26-27页 |
| ·实验原料 | 第26页 |
| ·基体预处理 | 第26页 |
| ·灯丝预处理 | 第26页 |
| ·实验流程 | 第26-27页 |
| ·性能检测 | 第27-31页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第27-28页 |
| ·拉曼光谱(Raman) | 第28-29页 |
| ·维氏硬度计 | 第29-31页 |
| 第三章 参数对铜基金刚石薄膜形核与生长的影响 | 第31-56页 |
| ·不同预处理方式对铜基金刚石形核的影响 | 第31-33页 |
| ·不同预处理下的SEM照片 | 第31-32页 |
| ·预处理方式影响形核的机理 | 第32-33页 |
| ·甲烷浓度对金刚石薄膜的影响 | 第33-39页 |
| ·甲烷浓度对金刚石薄膜形貌的影响 | 第34-35页 |
| ·甲烷浓度对金刚石薄膜质量的影响 | 第35-36页 |
| ·甲烷浓度影响薄膜生长的机制 | 第36-39页 |
| ·热丝距离对铜基金刚石生长的影响 | 第39-44页 |
| ·热丝距离对金刚石薄膜形貌的影响 | 第40-41页 |
| ·热丝距离对金刚石薄膜质量的影响 | 第41-42页 |
| ·热丝距离影响金刚石沉积的机理 | 第42-44页 |
| ·温度对铜基金刚石生长的影响 | 第44-49页 |
| ·衬底温度对金刚石薄膜形貌的影响 | 第45-46页 |
| ·衬底距离对金刚石薄膜质量的影响 | 第46-47页 |
| ·衬底温度影响金刚石沉积的机理 | 第47-49页 |
| ·沉积气压对铜基金刚石生长的影响 | 第49-52页 |
| ·气压对金刚石薄膜形貌的影响 | 第49-50页 |
| ·气压对金刚石薄膜质量的影响 | 第50-51页 |
| ·气体压强影响金刚石沉积的机理 | 第51-52页 |
| ·沉积时间对铜基金刚石生长的影响 | 第52-55页 |
| ·沉积时间对金刚石薄膜形貌的影响 | 第52-54页 |
| ·沉积时间对金刚石薄膜质量的影响 | 第54-55页 |
| ·沉积时间对金刚石薄膜形貌的影响机理 | 第55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 过渡层对铜基金刚石薄膜的影响 | 第56-62页 |
| ·金刚石薄膜SEM表面形貌分析 | 第57-58页 |
| ·金刚石薄膜质量分析 | 第58-59页 |
| ·金刚石薄膜在不同过渡层上的附着性能分析 | 第59-60页 |
| ·不同过渡层影响金刚石薄膜形貌、质量与附着力的机理 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 攻读硕士学位期间主要研究成果 | 第71页 |