| 致谢 | 第1-9页 |
| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-21页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第16-17页 |
| ·微型纳米位移传感器概况 | 第17页 |
| ·光栅干涉仪 | 第17页 |
| ·偏振激光干涉仪 | 第17页 |
| ·干涉仪弦波信号的细分技术 | 第17-19页 |
| ·自适应控制理论与实践 | 第19页 |
| ·课题研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 微型纳米位移传感器及共平面 XY 平台 | 第21-29页 |
| ·光栅干涉测量原理 | 第21-23页 |
| ·线性衍射光栅干涉仪（LDGI） | 第23-24页 |
| ·Michelson 干涉仪原理 | 第24-26页 |
| ·偏振迈克尔逊激光干涉仪（PMI） | 第26-27页 |
| ·多自由度测量系统（MDFMS）与共平面 XY 平台 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 微型纳米位移传感器弦波信号处理方法 | 第29-40页 |
| ·Heydemann 误差分析 | 第29-30页 |
| ·弦波信号处理方法 | 第30-33页 |
| ·信号预放大 | 第30-31页 |
| ·正交化处理 | 第31-32页 |
| ·归一化处理 | 第32-33页 |
| ·弦波信号处理电路设计与实验分析 | 第33-38页 |
| ·I/V 转换电路 | 第33-34页 |
| ·差动放大电路 | 第34页 |
| ·正交化处理电路 | 第34-36页 |
| ·归一化处理电路 | 第36-37页 |
| ·实验分析 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第4章 基于 DSP 的微处理机系统硬件设计 | 第40-46页 |
| ·系统架构框图 | 第40-41页 |
| ·位移测量硬件基础 | 第41-44页 |
| ·ADC 模块设计 | 第41-42页 |
| ·脉冲计数模块设计 | 第42-44页 |
| ·运动控制硬件基础 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 位移测量软件设计 | 第46-55页 |
| ·位移测量原理 | 第46-49页 |
| ·位移测量软件流程 | 第49-50页 |
| ·位移测量对比实验 | 第50-54页 |
| ·PMI 平台对比测量实验 | 第50-52页 |
| ·LDGI 平台对比测量实验 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第6章 基于 USB 传输的机台运动控制 | 第55-74页 |
| ·USB 通讯 | 第55-59页 |
| ·DSP 的 USB 接口电路 | 第55-56页 |
| ·USB 协议简介 | 第56-58页 |
| ·USB 设备枚举（Enumeration） | 第58-59页 |
| ·超声波电机 HR4 及其驱动器 | 第59-61页 |
| ·BP 神经网络 PID 控制原理 | 第61-69页 |
| ·传统 PID 控制算法 | 第62页 |
| ·人工神经元数学模型 | 第62-63页 |
| ·BP 算法推导 | 第63-66页 |
| ·基于 BP 神经网络的 PID 控制 | 第66-69页 |
| ·机台运动控制软件设计及改进 | 第69-73页 |
| ·运动控制软件流程 | 第69-71页 |
| ·BPNN 算法核心 | 第71页 |
| ·软件调试与改进 | 第71-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第7章 总结和展望 | 第74-76页 |
| ·主要工作成果与总结 | 第74-75页 |
| ·研究工作展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 附录 | 第79-82页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第82-83页 |