用于精密位移测量的单频激光干涉系统研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 全文摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-26页 |
| 本章摘要 | 第13页 |
| ·论文研究的背景及意义 | 第13-14页 |
| ·国内外的相关研究现状 | 第14-23页 |
| ·激光干涉仪的发展状况 | 第14-19页 |
| ·激光干涉仪的国外研究与应用情况 | 第19-20页 |
| ·激光干涉仪的国内研究与应用情况 | 第20-23页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第2章 精密位移测量的激光干涉原理 | 第26-33页 |
| 本章摘要 | 第26页 |
| ·激光的基本物理性质 | 第26-27页 |
| ·光波的叠加 | 第27-30页 |
| ·叠加原理 | 第27页 |
| ·光波的强度合成 | 第27-30页 |
| ·单频激光干涉和双频激光干涉的比较 | 第30-32页 |
| ·单频激光干涉 | 第30-31页 |
| ·双频激光干涉 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 激光干涉的光学系统构建 | 第33-42页 |
| 本章摘要 | 第33页 |
| ·光路结构 | 第33页 |
| ·光学元件的选型 | 第33-37页 |
| ·激光器 | 第33-34页 |
| ·扩束镜 | 第34页 |
| ·分光镜 | 第34-35页 |
| ·固定反射镜和目标反射镜 | 第35-36页 |
| ·辅助夹持元件 | 第36页 |
| ·静态干涉实现 | 第36-37页 |
| ·目标反射镜运动的控制 | 第37-41页 |
| ·手动位移台 | 第37-38页 |
| ·纳米电机 | 第38-39页 |
| ·动态干涉实现 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 激光干涉条纹的数据采集 | 第42-57页 |
| 本章摘要 | 第42页 |
| ·光电转换电路元件的选型 | 第42-43页 |
| ·光电转换电路设计 | 第43-47页 |
| ·比较电路 | 第43-44页 |
| ·放大电路 | 第44-46页 |
| ·方波转换电路 | 第46-47页 |
| ·光电转换实验效果 | 第47-49页 |
| ·干涉条纹波形的数据采集 | 第49-56页 |
| ·方波采集 | 第50-54页 |
| ·正弦波采集 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 激光干涉条纹的数据处理 | 第57-75页 |
| 本章摘要 | 第57页 |
| ·波形误差处理 | 第57-63页 |
| ·角度法 | 第58-60页 |
| ·弦高法 | 第60-63页 |
| ·波形细分 | 第63-74页 |
| ·通用细分情况简介 | 第63-68页 |
| ·简化条件下的细分 | 第68-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第6章 结论和展望 | 第75-77页 |
| ·结论 | 第75-76页 |
| ·展望 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 作者简历 | 第80页 |
