| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 目次 | 第8-11页 |
| 1 绪论 | 第11-25页 |
| ·湿法光刻技术的发展 | 第11-15页 |
| ·光刻技术 | 第11-13页 |
| ·湿法光刻技术 | 第13-15页 |
| ·ICU测试用运动台的背景 | 第15-24页 |
| ·光刻机步进扫描工作台 | 第15-20页 |
| ·微位移机构 | 第20-24页 |
| ·课题研究的目的与内容 | 第24页 |
| ·课题的研究目的 | 第24页 |
| ·课题研究的内容 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 2 ICU测试用运动台系统的总体设计 | 第25-29页 |
| ·运动台系统的构成 | 第25页 |
| ·运动台系统的总体结构方案设计 | 第25-27页 |
| ·运动台系统的模块分解及功能划分 | 第25-26页 |
| ·运动台系统主要性能参数的分配 | 第26-27页 |
| ·运动台系统设计的基本原则 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 二维运动平台的结构设计 | 第29-47页 |
| ·二维运动平台的总体结构方案设计 | 第29-33页 |
| ·二维运动平台机械结构零部件的设计 | 第33-40页 |
| ·二维运动平台负载部分设计 | 第33-37页 |
| ·驱动及位置检测系统的设计 | 第37-39页 |
| ·基座部分的设计 | 第39-40页 |
| ·基于有限元分析的二维运动平台结构校核 | 第40-45页 |
| ·Z向导向轴的设计校核 | 第40-41页 |
| ·X向导向轴的设计校核 | 第41-43页 |
| ·Y向导向轴的强度校核 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 4 基于新型3-PSR-V并联机构的ICU空间位姿调整机构设计 | 第47-57页 |
| ·ICU空间位姿调整机构的总体方案设计 | 第47-51页 |
| ·ICU空间位姿分析 | 第47页 |
| ·新型3-PSR-V并联机构 | 第47-49页 |
| ·ICU空间位姿调整机构的性能参数 | 第49页 |
| ·ICU空间位姿调整机构的整体设计方案 | 第49-51页 |
| ·ICU空间位姿调整机构零部件的设计 | 第51-54页 |
| ·ICU夹持与旋转副功能实现 | 第51-53页 |
| ·移动副与转动副功能的实现 | 第53页 |
| ·驱动电机的选择 | 第53-54页 |
| ·基于有限元分析的ICU空间位姿调整机构结构校核 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 5 运动台的电气控制系统设计 | 第57-65页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·运动台的控制功能方案设计 | 第57-62页 |
| ·运动台的总体控制功能方案设计 | 第57-58页 |
| ·运动台功能类元器件选型 | 第58-61页 |
| ·运动台运动控制系统的控制原理 | 第61-62页 |
| ·运动台的电气控制实现 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 6 运动台的性能测试分析 | 第65-73页 |
| ·引言 | 第65页 |
| ·二维运动平台控制系统测试 | 第65-68页 |
| ·二维运动平台运动控制策略介绍 | 第65-66页 |
| ·二维运动平台控制系统测试的步骤 | 第66-68页 |
| ·二维运动平台机械性能测试 | 第68-71页 |
| ·二维运动平台的振动测试 | 第68-71页 |
| ·承片台的平面度测试 | 第71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 7 总结与展望 | 第73-75页 |
| ·总结 | 第73-74页 |
| ·工作展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |