基于微热板的气敏元件制备及其检测系统设计

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-15页
·课题的研究背景	第8页
·微热板式气体传感器的研究进展	第8-14页
·本文的研究工作	第14-15页
2 半导体气体传感器概述	第15-25页
·气体传感器的种类	第15-21页
·半导体气敏元件的分类	第15页
·气体传感器结构	第15-18页
·气敏元件检测电路	第18-21页
·气体传感器的性能参数	第21页
·SnO_2气敏元件的敏感机理	第21-23页
·气体传感器的性能检测	第23-25页
3 微热板性能参数分析及气体传感器制备	第25-39页
·微热板结构参数及其特性分析	第25-32页
·微热板结构参数	第25-28页
·微热板温度传感器及加热器性能分析	第28-32页
·微热板式气体传感器制备	第32-39页
·电喷针结构参数	第32-35页
·压力驱动下电喷针流量控制	第35-36页
·气敏材料的液滴引导定位涂覆	第36-39页
4 气体传感器检测系统的硬件及软件设计	第39-54页
·检测系统的硬件电路设计	第39-47页
·系统总体设计方案	第39-40页
·各模块单元的电路设计	第40-46页
·系统PCB版图设计	第46-47页
·检测系统的软件设计	第47-54页
·开发语言的选择及其特点	第47-48页
·下位机软件设计	第48-51页
·上位机操作界面设计	第51-54页
5 微热板式气体传感器性能分析	第54-71页
·气敏元件的热处理方式与其敏感特性关系	第54-59页
·无热处理	第54-55页
·恒温箱热处理	第55页
·微热板热处理	第55-56页
·高温炉热处理	第56-59页
·气敏材料的特性表征	第59-64页
·场发射扫描电子显微镜分析	第59-61页
·X射线衍射分析	第61-64页
·气敏元件工作电压与灵敏度关系	第64-66页
·掺杂与气敏元件特性关系	第66-71页
·二氧化钛掺杂	第67-68页
·碳纳米管掺杂	第68-71页
结论	第71-72页
参考文献	第72-75页
致谢	第75-76页