BST铁电薄膜移相器的设计与工艺研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-18页
·铁电材料的基本物理特性	第9-11页
·相控阵天线移相器的基本工作原理	第11-13页
·移相器的分类	第13-16页
·移相器的国内外研究概况	第16-17页
·本文主要研究内容	第17-18页
2 铁电薄膜移相器设计理论分析	第18-30页
·铁电薄膜移相器结构	第18-19页
·CPW 移相器的电磁场分析方法	第19-29页
·本章小结	第29-30页
3 BST 薄膜移相器的软件仿真分析	第30-41页
·BST 薄膜移相器的 HFSS 仿真分析	第30-38页
·BST 铁电薄膜移相器的 ADS 仿真分析	第38-40页
·本章小结	第40-41页
4 BST 薄膜的制备与性能研究	第41-47页
·BST 靶材的制备	第41-42页
·BST 薄膜的制备与性能分析	第42-45页
·BST 薄膜的双靶共溅工艺研究	第45-46页
·本章小结	第46-47页
5 BST 铁电薄膜移相器单元设计与制备工艺研究	第47-56页
·铁电薄膜移相器衬底及电极材料的选择	第47-48页
·铁电薄膜移相器的单元设计	第48-50页
·铁电薄膜移相器制备工艺研究	第50-55页
·本章小结	第55-56页
6 全文总结与展望	第56-58页
·全文总结	第56-57页
·未来工作展望	第57-58页
致谢	第58-59页
参考文献	第59-64页
附录 1 攻读硕士学位期间发表及待发表论文	第64页