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稀土掺杂包埋纳米晶硅硅基薄膜光学性质研究

目录第1-7页
CONTENTS第7-10页
中文摘要第10-12页
ABSTRACT第12-15页
第一章 绪论第15-43页
   ·发光的定义及分类第15-17页
   ·发光材料的应用第17-18页
   ·研究光电集成的目的、意义及存在的问题第18-20页
     ·研究光电集成的目的和意义第18-19页
     ·实现光电集成面临的问题第19-20页
   ·硅基发光材料研究综述第20-30页
     ·硅基材料在发光方面的不足第20-22页
     ·改善硅基材料发光性质的途径第22-23页
     ·硅基发光材料研究概况第23-30页
   ·影响稀土掺杂硅基发光材料发光效率的因素第30-32页
   ·选题意义及研究内容第32-33页
 参考文献第33-43页
第二章 稀土掺杂硅基薄膜材料的制备与性能测试第43-53页
   ·薄膜制备常用技术第43-46页
   ·薄膜性质表征测试技术第46-48页
   ·本研究所用样品的制备及后期热处理第48-50页
     ·Er掺杂富硅SiO_2薄膜的制备第49页
     ·Ce掺杂SiO_2薄膜的制备第49页
     ·样品退火热处理第49-50页
   ·样品性质表征及测试第50页
   ·实验中所用到的仪器第50-51页
   ·本工作中所用到的计算软件第51-52页
 参考文献第52-53页
第三章 Er掺杂包理纳米晶硅SiO_2薄膜的结构和发光性质第53-75页
   ·Er~(3+)离子的光谱理论第53-58页
     ·Er~(3+)离子发光机理第53-55页
     ·Er~(3+)离子发光光谱展宽理论第55-58页
   ·Er~(3+)离子与Si-nc的耦合机制第58-61页
     ·Er~(3+)离子掺杂体硅材料和Er~(3+)离子掺杂富硅氧化硅模型第58-59页
     ·Si-nc量子限制效应第59页
     ·Er~(3+)与Si-nc耦合机制第59-61页
   ·Er:SRSO样品的微观结构第61-64页
     ·Er:SRSO样品高温快速退火后的TEM图第61-62页
     ·Er:SRSO样品经1100℃不同时间退火后的Raman光谱第62-64页
   ·Er:SRSO样品的PL性质第64-70页
     ·退火时间对样品PL性质的影响第64-66页
     ·外加压强对样品PL性质的影响第66-70页
   ·本章小结第70-72页
 参考文献第72-75页
第四章 Ce掺杂SiO_2薄膜发光性质第75-93页
   ·Ce~(3+)离子发光机理第75-76页
   ·离子注入浓度换算第76-77页
   ·A系列Ce~(3+)离子掺杂SiO_2薄膜PL性质第77-83页
     ·Ce~(3+)离子掺杂浓度对样品PL性质的影响第77-79页
     ·退火温度对样品PL性质的影响第79-82页
     ·退火气氛对样品PL性质的影响第82-83页
   ·B系列Ce~(3+)离子掺杂SiO_2薄膜PL性质第83-86页
     ·不同Ce~(3+)离子掺杂浓度样品的PL谱第83-85页
     ·经不同温度退火样品的PL谱第85-86页
     ·不同气氛中经1100℃退火样品的PL谱第86页
   ·制备方法对样品PL性质的影响第86-88页
   ·本章小结第88-90页
 参考文献第90-93页
第五章 基于第一性原理的材料光电性质计算第93-117页
   ·第一性原理计算第93-94页
   ·Hartree-Forck方法和密度泛函理论第94-101页
     ·Hartree-Forck方法第94-96页
     ·密度泛函理论第96-101页
   ·SiO_2光电性质计算第101-104页
     ·理论模型和计算方法第101页
     ·几何结构优化结果第101页
     ·SiO_2的能带结构和态密度第101-103页
     ·SiO_2光学性质计算结果与分析第103-104页
   ·包理纳米晶硅SiO_2光电性质计算第104-110页
     ·理论模型和计算方法第104-105页
     ·几何结构优化结果第105-106页
     ·包埋纳米晶硅SiO_2的能带结构和态密度第106-108页
     ·包理纳米晶硅SiO_2光学性质计算结果与分析第108-110页
   ·Ce掺杂SiO_2光电性质计算第110-114页
     ·理论模型和计算方法第110页
     ·几何结构优化结果第110页
     ·Ce掺杂SiO_2能带结构和态密度第110-113页
     ·Ce掺杂SiO_2光学性质计算结果与分析第113-114页
   ·本章小结第114-115页
 参考文献第115-117页
第六章 全文总结第117-119页
致谢第119-120页
攻读博士学位期间发表的论文目录第120-121页
学位论文评阅及答辩情况表第121-122页
附录第122-130页

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