| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| ·硅基波导光栅耦合器件研究概述 | 第12-17页 |
| ·波导光栅的起源和发展 | 第12-13页 |
| ·波导光栅耦合器件的分类 | 第13-15页 |
| ·波导光栅耦合器件的应用 | 第15-16页 |
| ·波导光栅的研究意义 | 第16-17页 |
| ·国内外研究现状 | 第17-21页 |
| ·本文的主要工作 | 第21-24页 |
| 第二章 硅基波导光栅器件的原理及计算方法 | 第24-34页 |
| ·波导光栅器件设计的基本理论 | 第24-27页 |
| ·波导光栅结构 | 第24-25页 |
| ·布拉格条件 | 第25-26页 |
| ·波矢图 | 第26-27页 |
| ·严格耦合波解析方法 | 第27-30页 |
| ·FDTD 数值方法 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 硅基波导光栅耦合器件的特性分析 | 第34-44页 |
| ·基本结构 | 第34页 |
| ·波矢量分析 | 第34-35页 |
| ·波导层厚度变化对耦合的影响 | 第35-38页 |
| ·光栅周期变化对耦合的影响 | 第38-40页 |
| ·光源入射角度变化对耦合的影响 | 第40-41页 |
| ·光栅长度和SiO_2 层厚度变化对耦合的影响 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 硅基波导光栅耦合器件的设计 | 第44-60页 |
| ·阶梯型波导光栅耦合器的设计及模拟 | 第44-46页 |
| ·二元闪耀光栅耦合器的设计及模拟 | 第46-56页 |
| ·等效介质膜理论 | 第47-49页 |
| ·二元光栅占空比 | 第49-51页 |
| ·二元闪耀光栅的设计及数值模拟 | 第51-56页 |
| ·对称式全刻蚀啁啾型亚波长二元闪耀光栅分束器 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 硅基波导光栅耦合器件的制作流程、工艺及实验测试 | 第60-71页 |
| ·硅基波导光栅耦合器件的制备流程 | 第60页 |
| ·硅基波导光栅耦合器件的制备工艺简介 | 第60-63页 |
| ·电子束光刻 | 第61-62页 |
| ·感应耦合等离子体刻蚀 | 第62-63页 |
| ·硅基波导光栅耦合器件的测试方法及实验结果 | 第63-70页 |
| ·测试平台简介 | 第63-64页 |
| ·测试操作过程 | 第64-69页 |
| ·测试结果 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 结束语 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第79页 |