| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 前言 | 第8-10页 |
| 第二章 文献综述 | 第10-31页 |
| ·ZnO的结构与性能 | 第10-14页 |
| ·ZnO的基本结构 | 第10-11页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第11-13页 |
| ·ZnO的光电性质 | 第13-14页 |
| ·ZnO的其它性质 | 第14页 |
| ·ZnO的本征缺陷与n型掺杂 | 第14-16页 |
| ·ZnO的本征缺陷 | 第14-16页 |
| ·ZnO的非故意掺杂 | 第16页 |
| ·ZnO的n型掺杂 | 第16页 |
| ·ZnO的p型掺杂 | 第16-21页 |
| ·本征p型ZnO | 第17页 |
| ·Ⅰ族元素掺杂 | 第17-18页 |
| ·Ⅴ族元素掺杂 | 第18-20页 |
| ·施主—受主共掺杂 | 第20-21页 |
| ·双受主掺杂 | 第21页 |
| ·Zn_(1-x)Mg_xO三元合金薄膜及其p型掺杂研究进展 | 第21-26页 |
| ·Zn_(1-x)Mg_xO三元合金薄膜结构 | 第21-22页 |
| ·Zn_(1-x)Mg_xO薄膜及其p型掺杂研究进展 | 第22-26页 |
| ·Zn_(1-x)Mg_xO或ZnO薄膜的应用 | 第26-30页 |
| ·ZnO基同质结 | 第26-27页 |
| ·异质p-n结 | 第27-28页 |
| ·ZnMgO/ZnO多量子阱,超晶格 | 第28-30页 |
| ·立题背景目的、主要研究内容 | 第30-31页 |
| 第三章 实验原理、薄膜制备过程及性能表征 | 第31-38页 |
| ·直流反应磁控溅射原理和实验设备 | 第31-33页 |
| ·薄膜制备过程 | 第33-35页 |
| ·靶材的成型 | 第33-34页 |
| ·衬底的清洗 | 第34-35页 |
| ·制备ZnO和ZnMgO薄膜的过程 | 第35页 |
| ·实验中几个基本参数的控制及其影响 | 第35-36页 |
| ·靶基距(靶面、基板之间的距离) | 第36页 |
| ·溅射功率和工作压强 | 第36页 |
| ·性能表征 | 第36-38页 |
| 第四章 Ga-N共掺实现p-Zn_(1-x)Mg_xO的可行性分析 | 第38-46页 |
| ·各种共掺理论 | 第38-41页 |
| ·Yamamoto的共掺理论 | 第38-39页 |
| ·Wang的共掺理论 | 第39-40页 |
| ·Yan-Zhang的共掺理论 | 第40-41页 |
| ·Ga-N共掺技术实现p-Zn_(1-x)Mg_xO可行性和优越性分析 | 第41-46页 |
| ·从系统Madelung能量角度分析 | 第43页 |
| ·从电负性角度分析 | 第43-46页 |
| 第五章 Ga-N共掺ZnMgO薄膜的p型表现 | 第46-56页 |
| ·Ga-N共掺p-Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的晶体质量 | 第46-49页 |
| ·Ga-N共掺p-Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的电学性能 | 第49-51页 |
| ·Ga-N共掺p-Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的光学性能 | 第51-53页 |
| ·Ga-N共掺p-Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的元素化学态分析 | 第53-54页 |
| ·小结 | 第54-56页 |
| 第六章 Ga-N共掺p-Zn_(1-x)Mg_xO薄膜—N_2O分压和生长温度的影响 | 第56-70页 |
| ·Ga-N共掺p-Zn_(1-x)Mg_xO薄膜—N_2O的影响 | 第56-60页 |
| ·N_2O分压对薄膜结晶性能的影响 | 第56-57页 |
| ·N_2O分压对薄膜电学性能的影响 | 第57-59页 |
| ·N_2O分压对薄膜光学性能的影响 | 第59-60页 |
| ·Ga-N共掺p-Zn_(1-x)Mg_xO薄膜—生长温度的影响 | 第60-67页 |
| ·衬底温度对薄膜电学性能的影响 | 第61-65页 |
| ·衬底温度对薄膜结晶性能的影响 | 第65-67页 |
| ·最佳温度下共掺Zn_(0.9)Mg_(0.1)O薄膜的Ga、N元素状态分析 | 第67页 |
| ·Ga-N共掺p-Zn_(1-x)Mg_xO薄膜—N源气体的影响 | 第67-69页 |
| ·小结 | 第69-70页 |
| 第七章 Ga-N共掺p-Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的改善及尝试制造、设计简单器件 | 第70-80页 |
| ·衬底材料的影响 | 第70-73页 |
| ·退火处理的影响 | 第73-74页 |
| ·n-Si/p-Zn_(1-x)Mg_xO异质结及ZnO或Zn_(1-x)Mg_xO基简单器件优化设计 | 第74-79页 |
| ·非欧姆接触特性 | 第75页 |
| ·欧姆接触特性 | 第75-77页 |
| ·ZnMgO异质p-n结 | 第77页 |
| ·ZnO或ZnMgO基p-n结优化设计 | 第77-79页 |
| ·小结 | 第79-80页 |
| 第八章 结论 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-92页 |
| 攻读硕士学位期间的发表或投递的论文 | 第92-93页 |
| 致谢 | 第93页 |
