P型GaN上AZO膜的制备及欧姆接触特性

中文摘要	第1-5页
英文摘要	第5-9页
1 绪论	第9-19页
·问题的提出及研究意义	第9-11页
·P-GaN 上难以形成欧姆接触的原因及解决思路	第11页
·P-GaN 透明电极的研究现状	第11-14页
·ZnO 薄膜的基本特性	第14-15页
·AZO 薄膜的光电特性	第15-18页
·本文的内容和创新点	第18-19页
2 AZO 薄膜的制备及表征方法	第19-30页
·直流磁控溅射方法	第19-24页
·直流反应溅射镀膜的基本原理	第19-23页
·薄膜制备的工艺特征	第23-24页
·实验方法	第24-26页
·检测方法	第26-30页
·X 射线衍射仪	第26页
·原子力显微镜	第26-27页
·霍尔测试仪	第27-28页
·分光光度计	第28-30页
3 AZO 薄膜结构与性能	第30-43页
·AZO 薄膜结构特性分析	第30-33页
·AZO 薄膜XRD 结果	第30-32页
·AZO 薄膜表面形貌分析	第32-33页
·AZO 薄膜电学特性	第33-37页
·AZO 薄膜的光学特性	第37-42页
·本章小结	第42-43页
4 Ni/AZO 与p-GaN 欧姆接触	第43-53页
·欧姆接触的原理	第43-44页
·欧姆接触的测试方法	第44-45页
·标准器件工艺	第45-47页
·P-GaN 的制备及透明电极的制备	第47-49页
·Ni/AZO 与P-GaN 的接触特性	第49-51页
·透明电极的光学特性	第51-52页
·本章小结	第52-53页
5 结论与展望	第53-55页
·结论	第53页
·后续工作的展望	第53-55页
致谢	第55-56页
参考文献	第56-60页
附录 攻读硕士学位期间获得的成果情况	第60-63页