| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| ·研究的背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状及进展 | 第10-13页 |
| ·国内外TaN 薄膜材料研究进展 | 第10-11页 |
| ·国内外微波功率匹配负载研究进展 | 第11-13页 |
| ·研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 TaN 薄膜制备及性能研究 | 第14-22页 |
| ·实验过程 | 第14-15页 |
| ·氮流量对Al 掺杂TaN 薄膜微结构和电性能的影响 | 第15-17页 |
| ·氮流量对Al 掺杂TaN 薄膜相结构的影响 | 第15页 |
| ·氮流量对Al 掺杂TaN 薄膜厚度的影响 | 第15-16页 |
| ·氮流量对Al 掺杂TaN 薄膜电阻率的影响 | 第16-17页 |
| ·氮流量对Al 掺杂TaN 薄膜电阻温度系数的影响 | 第17页 |
| ·退火工艺条件对TaN 薄膜微结构和电性能的影响 | 第17-21页 |
| ·不同退火条件对TaN 薄膜表面形貌的影响 | 第17-18页 |
| ·不同退火条件对TaN 薄膜相结构的影响 | 第18-20页 |
| ·不同退火条件对TaN 薄膜方阻及TCR 的影响 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 K 波段微波功率匹配负载的设计及制备 | 第22-46页 |
| ·微波功率匹配负载基本理论 | 第22-27页 |
| ·微波功率匹配负载的基本结构 | 第22-23页 |
| ·微波功率匹配负载的等效电路 | 第23页 |
| ·端接负载的无耗传输线理论 | 第23-26页 |
| ·端接负载的有耗传输线理论 | 第26-27页 |
| ·K 波段微波功率匹配负载的设计与仿真 | 第27-39页 |
| ·微波性能的设计与仿真 | 第28-34页 |
| ·功率负载性能的设计与仿真 | 第34-39页 |
| ·K 波段微波功率匹配负载的制备及测试 | 第39-45页 |
| ·匹配负载的制备 | 第39-41页 |
| ·匹配负载的测试 | 第41-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 阵列型微波功率匹配负载的研究 | 第46-59页 |
| ·匹配负载微波性能与功率负载能力的相互限制 | 第46-47页 |
| ·阵列型微波功率匹配负载基本理论 | 第47-51页 |
| ·阵列型微波功率匹配负载的设计与仿真 | 第51-55页 |
| ·阵列型微波功率匹配负载的制备及测试 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第五章 结论与展望 | 第59-61页 |
| ·结论 | 第59-60页 |
| ·展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第65-66页 |