MEMS器件综合技术的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·微电子机械系统(MEMS)的含义 | 第9-10页 |
| ·MEMS 设计方法 | 第10-15页 |
| ·MEMS 的"Top-down"设计流程 | 第11-13页 |
| ·系统级设计 | 第13页 |
| ·器件级设计 | 第13-14页 |
| ·工艺设计 | 第14-15页 |
| ·版图设计 | 第15页 |
| ·MEMS CAD | 第15-19页 |
| ·微机电系统CAD 的研究概况 | 第15-16页 |
| ·微机电系统CAD 的特点 | 第16-17页 |
| ·微机电系统CAD 的设计原则 | 第17页 |
| ·MEMS CAD 设计目前的困难及其意义 | 第17-18页 |
| ·微机电系统CAD 设计的过程及展望 | 第18页 |
| ·MEMS 的系统级仿真 | 第18-19页 |
| ·MEMS 综合与优化设计 | 第19页 |
| ·本论文的主要工作 | 第19-20页 |
| ·结束语 | 第20-21页 |
| 第二章 微机电系统MEMS 的设计综合 | 第21-34页 |
| ·数字逻辑综合 | 第21-25页 |
| ·逻辑综合的特点 | 第21-22页 |
| ·逻辑综合系统结构 | 第22-23页 |
| ·逻辑综合设计方法 | 第23-25页 |
| ·微机电系统MEMS 综合 | 第25-27页 |
| ·MEMS 综合与VLSI 综合的对比 | 第26页 |
| ·MEMS 综合分类 | 第26-27页 |
| ·MEMS 综合三种方法 | 第27-30页 |
| ·国外应用多目标基因算法的MEMS 器件综合实例 | 第30-33页 |
| ·MEMS 综合的发展 | 第33-34页 |
| 第三章 MEMS 综合的设计参数处理 | 第34-43页 |
| ·多设计参数问题的提出 | 第34页 |
| ·规范尺寸 | 第34-42页 |
| ·规范说明 | 第34页 |
| ·对设计参数进行分类 | 第34-37页 |
| ·规范尺寸大小 | 第37页 |
| ·规范尺寸的验证 | 第37-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 第四章 静电梳状微谐振器的器件综合 | 第43-55页 |
| ·静电梳状微谐振器器件结构及工作原理 | 第43-44页 |
| ·静电梳状微谐振器器件综合目标 | 第44页 |
| ·设计变量 | 第44-45页 |
| ·设计约束与规范尺寸 | 第45-48页 |
| ·几何约束 | 第45-46页 |
| ·功能约束 | 第46-47页 |
| ·规范尺寸 | 第47-48页 |
| ·综合方法 | 第48-50页 |
| ·结果验证 | 第50-54页 |
| ·理论计算验证 | 第50-52页 |
| ·ANSYS 软件验证 | 第52-54页 |
| ·结论 | 第54-55页 |
| 第五章 叉指式硅微加速度计的器件综合 | 第55-62页 |
| ·硅微加速度计概述 | 第55-56页 |
| ·叉指式硅微加速度计原理结构 | 第56-57页 |
| ·加速度计器件综合 | 第57-61页 |
| ·确定硅微加速度计的设计变量 | 第57-58页 |
| ·确定目标函数 | 第58-60页 |
| ·确定约束条件 | 第60页 |
| ·选择综合优化方法 | 第60-61页 |
| ·结论 | 第61-62页 |
| 第六章 MEMS 基本单元器件的综合接口 | 第62-68页 |
| ·MEMS 三种最基本单元器件 | 第62-64页 |
| ·悬臂梁谐振器 | 第62-63页 |
| ·双端固定的固支梁谐振器 | 第63-64页 |
| ·MEMS 膜谐振器 | 第64页 |
| ·MEMS 基本元件的器件综合接口 | 第64-67页 |
| ·小结 | 第67-68页 |
| 第七章 结束语 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 附录 | 第74-78页 |
| 图表索引 | 第78-80页 |
| 表格索引 | 第80-81页 |
| 作者简介 | 第81页 |
| 在学期间发表的论文 | 第81页 |
