| 1 前言 | 第1-15页 |
| 1．1 类金刚石膜的结构 | 第6-7页 |
| 1．2 类金刚石膜发展史 | 第7-8页 |
| 1．3 类金刚石膜的属性及应用 | 第8-11页 |
| 1．4 制备方法 | 第11-13页 |
| 1．5 选题依据 | 第13-15页 |
| 2 技术及工艺 | 第15-25页 |
| 2．1 技术简介 | 第15-17页 |
| 2．2 实验设备 | 第17-18页 |
| 2．3 具体工艺 | 第18-22页 |
| 2．4 计算机控制 | 第22-25页 |
| 3 类金刚石薄膜特性表征 | 第25-48页 |
| 3．1 薄膜的结构成分分析 | 第25-36页 |
| 3．2 形貌分析 | 第36-40页 |
| 3．3 摩擦系数 | 第40-42页 |
| 3．4 硬度及结合力分析 | 第42-48页 |
| 4 类金刚石膜成膜机理及理论 | 第48-57页 |
| 4．1 基本理论 | 第48-52页 |
| 4．2 a-C∶H膜成膜机理 | 第52-57页 |
| 5 结论 | 第57-64页 |