抗热载流子效应的工艺及器件结构研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 1 简介 | 第9-11页 |
| ·概述 | 第9页 |
| ·背景 | 第9-11页 |
| 2 热载流子效应的物理机理 | 第11-25页 |
| ·载流子在硅衬底中被“加热” | 第12-14页 |
| ·碰撞电离 | 第14-15页 |
| ·热载流子注入栅氧化层 | 第15-20页 |
| ·氧化层衰退 | 第20-23页 |
| ·器件特性参数变化 | 第23-24页 |
| ·小结 | 第24-25页 |
| 3 热载流子效应数学模型 | 第25-30页 |
| ·原理 | 第25-28页 |
| ·解决方法 | 第28-29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 4 热载流子效应测试方法 | 第30-37页 |
| ·参数定义及数据要求 | 第30-31页 |
| ·分析方法 | 第31-35页 |
| ·衬底电流/漏电流比方法 | 第31-33页 |
| ·漏源电压加速法 | 第33-34页 |
| ·衬底电流法 | 第34-35页 |
| ·测试方法 | 第35-37页 |
| 5 热载流子效应改善实验 | 第37-53页 |
| ·提高栅氧化层质量对热载流子效应改善作用 | 第37-44页 |
| ·简介 | 第37页 |
| ·实验 | 第37页 |
| ·实验目的 | 第37页 |
| ·实验方案设计 | 第37-38页 |
| ·实验材料和工具 | 第38页 |
| ·实验条件 | 第38页 |
| ·实验结果与讨论 | 第38-43页 |
| ·实验小结 | 第43-44页 |
| ·通过使用优化的LDD 结构改善热载流子效应 | 第44-53页 |
| ·简介 | 第44-46页 |
| ·实验 | 第46页 |
| ·实验目的 | 第46页 |
| ·实验方案设计 | 第46-47页 |
| ·实验材料和工具 | 第47页 |
| ·实验条件 | 第47页 |
| ·实验结果与讨论 | 第47-52页 |
| ·实验小结 | 第52-53页 |
| 6 总结 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-58页 |
| 上海交通大学学位论文答辩决议书 | 第58页 |
