| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-17页 |
| 1. 研究背景 | 第10-14页 |
| ·光刻掩膜版仿真方法研究背景和现状 | 第12-13页 |
| ·非线性电路模型降阶方法研究背景和现状 | 第13-14页 |
| 2. 本文的研究内容和主要贡献 | 第14-16页 |
| ·基于并行的广义特征振荡谱元方法的光刻掩膜版仿真 | 第14-15页 |
| ·基于小波基函数的状态空间轨迹分段线性时域降阶方法 | 第15-16页 |
| 3. 本文组织结构 | 第16-17页 |
| 第二章 光刻掩膜版仿真方法回顾 | 第17-31页 |
| 1. 光刻系统的简单介绍 | 第17-20页 |
| 2. 光刻模拟技术的发展 | 第20-23页 |
| 3. 光刻掩膜版仿真方法回顾 | 第23-30页 |
| ·二维波导(WaveGuide)方法 | 第25-29页 |
| ·波导方法的局限性 | 第29-30页 |
| 4. 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 并行的广义特征振荡谱元方法 | 第31-62页 |
| 1. 光刻掩膜版仿真问题描述 | 第31-34页 |
| 2. 版图垂直划分以及特征垂直结构的提取 | 第34页 |
| 3. 广义特征振荡谱元方法 | 第34-36页 |
| 4. 非连续伽勒金方法求解特征垂直竖条问题 | 第36-45页 |
| ·特征垂直竖条中特征振荡的求解 | 第36-44页 |
| ·特征垂直竖条中特解的求解 | 第44-45页 |
| 5. 施瓦茨迭代法求解系数 | 第45-49页 |
| ·施瓦茨迭代的边界条件 | 第45-47页 |
| ·施瓦茨迭代求解系数c_p(x) | 第47-49页 |
| 6. 并行处理机制 | 第49-51页 |
| 7. 数值实验结果 | 第51-60页 |
| ·测试实例一 | 第51-53页 |
| ·测试实例二 | 第53-55页 |
| ·非周期的版图结构实例 | 第55-56页 |
| ·大规模RAM电路 | 第56-58页 |
| ·并行性能分析 | 第58-60页 |
| 8. 本章小结 | 第60-62页 |
| 第四章 非线性电路模型降阶方法回顾 | 第62-69页 |
| 1. 模型降阶研究背景 | 第62-63页 |
| 2. 非线性电路模型降阶方法回顾 | 第63-68页 |
| ·状态空间轨迹分段线性 | 第64-66页 |
| ·产生投影空间的基函数 | 第66-68页 |
| 3. 本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 时域小波基状态空间轨迹分段线性模型降阶方法 | 第69-92页 |
| 1. 时域线性系统模型降阶方法 | 第69-70页 |
| 2. 非线性电路时域小波配置点方法投影空间的产生 | 第70-74页 |
| 3. 通过小波压扩的方法控制时域误差分布 | 第74-78页 |
| 4. 计算复杂度分析 | 第78-79页 |
| 5. 数值实验结果 | 第79-90页 |
| ·非线性传输线 | 第80-83页 |
| ·套筒式运算放大器 | 第83-86页 |
| ·电流镜运算放大器 | 第86-89页 |
| ·小波压扩方法控制时域误差分布 | 第89-90页 |
| 6. 本章小结 | 第90-92页 |
| 第六章 总结与展望 | 第92-95页 |
| 1. 全文总结 | 第92-93页 |
| 2. 对未来工作的展望 | 第93-95页 |
| 参考文献 | 第95-104页 |
| 在读期间科研成果列表 | 第104-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |