微纳流控芯片操纵系统的研究及应用
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 微纳流控芯片 | 第11-12页 |
| 1.2 微装配系统技术研究 | 第12-18页 |
| 1.2.1 微装配系统分类 | 第12-13页 |
| 1.2.2 微装配系统组成 | 第13-14页 |
| 1.2.3 微装配系统特点 | 第14-15页 |
| 1.2.4 微装配系统的国内外研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3 论文课题来源与背景 | 第18页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 微纳流控芯片操纵系统分析 | 第20-29页 |
| 2.1 微纳流控芯片对准连接分析 | 第20页 |
| 2.2 光学分辨率 | 第20-22页 |
| 2.2.1 平面分辨率 | 第20-21页 |
| 2.2.2 深度分辨率 | 第21-22页 |
| 2.3 真空吸附力 | 第22-23页 |
| 2.4 装配应力 | 第23页 |
| 2.5 预键合底座分析 | 第23-27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27-29页 |
| 第3章 微纳流控芯片操纵系统技术研究 | 第29-38页 |
| 3.1 微纳流控芯片操纵系统总体设计 | 第29页 |
| 3.2 微纳流控芯片的对准系统 | 第29-36页 |
| 3.2.1 显微观测单元 | 第30页 |
| 3.2.2 真空吸附单元 | 第30-31页 |
| 3.2.3 移动调整单元 | 第31-35页 |
| 3.2.4 微装配系统对比分析 | 第35-36页 |
| 3.3 微纳流控芯片的装配方法 | 第36-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 微纳流控芯片制作及性能实验 | 第38-44页 |
| 4.1 微纳流控芯片的制作 | 第38-42页 |
| 4.2 离子富集实验 | 第42-43页 |
| 4.3 本章小结 | 第43-44页 |
| 结论 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-50页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51页 |
