| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-24页 |
| §1.1 微光机电系统(MOEMS)概述 | 第14-17页 |
| §1.2 微驱动技术的研究发展现状 | 第17-18页 |
| §1.3 本文的研究目的及意义 | 第18-20页 |
| §1.4 本文的主要研究内容及研究成果 | 第20-24页 |
| 第二章 微驱动技术及其工作原理 | 第24-36页 |
| §2.1 电驱动技术 | 第24-27页 |
| §2.1.1 压电微驱动技术 | 第24-26页 |
| §2.1.2 静电微驱动技术 | 第26-27页 |
| §2.2 形状记忆合金(SMA)驱动技术 | 第27-29页 |
| §2.3 热驱动技术 | 第29-33页 |
| §2.3.1 流体热膨胀驱动技术 | 第30-31页 |
| §2.3.2 电热微驱动技术 | 第31-33页 |
| §2.4 其他微驱动技术 | 第33-36页 |
| §2.4.1 渗透驱动技术 | 第33-34页 |
| §2.4.2 双层悬臂型光热微驱动技术 | 第34-36页 |
| 第三章 微型光热驱动的机制及理论研究 | 第36-89页 |
| §3.1 光热微驱动器的热学模型 | 第36-46页 |
| §3.1.1 光热微膨胀机制 | 第36-38页 |
| §3.1.2 光热微膨胀臂的热学模型 | 第38-40页 |
| §3.1.3 光热微膨胀臂的一维简化模型 | 第40-46页 |
| §3.2 光热微驱动器的静力学模型 | 第46-79页 |
| §3.2.1 光热微驱动器的微偏转 | 第46-52页 |
| §3.2.2 基本型光热微驱动器的静力学模型 | 第52-62页 |
| §3.2.3 单臂优化型光热微驱动器的静力学模型 | 第62-70页 |
| §3.2.4 双臂优化型光热微驱动器的静力学模型 | 第70-79页 |
| §3.3 光热微驱动器的动力学模型 | 第79-89页 |
| §3.3.1 微纳米尺度瞬态光热温度分布 | 第79-84页 |
| §3.3.2 动力学模型及其频响特性分析 | 第84-89页 |
| 第四章 微型光热驱动机构的设计与微加工制作 | 第89-109页 |
| §4.1 准分子激光微加工系统 | 第89-93页 |
| §4.2 光热微驱动器系列样机的设计制作 | 第93-104页 |
| §4.2.1 光热材料的选择 | 第93-96页 |
| §4.2.2 光热微膨胀臂系列 | 第96-98页 |
| §4.2.3 非对称型光热微驱动器系列 | 第98-99页 |
| §4.2.4 对称型光热微驱动器系列 | 第99-101页 |
| §4.2.5 单向触点开关式光热微驱动器系列 | 第101-103页 |
| §4.2.6 双向触点开关式光热微驱动器系列 | 第103-104页 |
| §4.3 光热驱动微动台系列的研制 | 第104-106页 |
| §4.3.1 基本型微动台 | 第104页 |
| §4.3.2 优化型微动台 | 第104-106页 |
| §4.4 光热驱动马达系列的制作 | 第106-108页 |
| §4.4.1 棘轮棘爪型马达 | 第106-107页 |
| §4.4.2 改进型光热驱动马达 | 第107-108页 |
| §4.5 光热驱动行走机构样机设计 | 第108-109页 |
| 第五章 微型光热驱动机构的驱动控制及显微观测系统研制 | 第109-124页 |
| §5.1 系统总体设计 | 第109-110页 |
| §5.2 激光驱动控制模块及软件 | 第110-116页 |
| §5.2.1 激光器调制方法 | 第111-112页 |
| §5.2.2 激光控制电路的设计与制作 | 第112-113页 |
| §5.2.3 驱动控制软件 | 第113-116页 |
| §5.3 光热驱动的显微监控模块 | 第116-119页 |
| §5.3.1 模块构成 | 第116-117页 |
| §5.3.2 CCD显微成像光路设计 | 第117-118页 |
| §5.3.3 激光光斑调节装置 | 第118-119页 |
| §5.4 光热微驱动的分析测量模块及软件 | 第119-124页 |
| §5.4.1 亚象素图像匹配算法 | 第120-121页 |
| §5.4.2 光热微驱动特性测量软件 | 第121-124页 |
| 第六章 微型光热驱动机构的实验技术研究 | 第124-146页 |
| §6.1 光热微驱动器系列的驱动技术研究 | 第124-137页 |
| §6.1.1 光热微膨胀臂系列的微驱动实验 | 第124-128页 |
| §6.1.2 非对称型光热微驱动器系列的光热驱动 | 第128-130页 |
| §6.1.3 对称型光热微驱动器系列的光热驱动驱动 | 第130-133页 |
| §6.1.4 单向触点开关式光热微驱动器系列的实验 | 第133-135页 |
| §6.1.5 双向触点开关式光热微驱动器的研究 | 第135-137页 |
| §6.2 光热驱动微动台系列的光热驱动研究 | 第137-139页 |
| §6.2.1 基本型微动台的光热驱动实验 | 第137-138页 |
| §6.2.2 优化型微动台的光热驱动实验 | 第138-139页 |
| §6.3 光热驱动马达的实验技术研究 | 第139-142页 |
| §6.3.1 棘轮棘爪型马达的光热驱动 | 第139-141页 |
| §6.3.2 改进型光热驱动马达的实验研究 | 第141-142页 |
| §6.4 光热驱动行走机构的实验研究 | 第142-143页 |
| §6.5 微型光热驱动机构一体化样机 | 第143-146页 |
| 第七章 总结与展望 | 第146-150页 |
| §7.1 本文的主要研究内容及成果 | 第146-148页 |
| §7.2 展望 | 第148-150页 |
| 参考文献 | 第150-159页 |
| 附录A 博士期间发表论文情况 | 第159-161页 |
| 附录B 国家发明专利和实用新型专利 | 第161-162页 |
| 作者简历 | 第162页 |
