| 致谢 | 第1-8页 |
| 摘要 | 第8-10页 |
| Abstract | 第10-12页 |
| 目录 | 第12-16页 |
| 图目录 | 第16-24页 |
| 表目录 | 第24-25页 |
| 第一章 绪论 | 第25-39页 |
| ·非球面检测技术研究的重要意义 | 第25-27页 |
| ·国内外非球面检测技术研究进展 | 第27-34页 |
| ·非球面零位干涉检测法 | 第28-30页 |
| ·非球面非零位干涉检测法 | 第30-34页 |
| ·本论文的主要研究方向及完成的工作 | 第34-36页 |
| ·本论文的主要创新点 | 第36-39页 |
| 第二章 面向通用性、基于多约束函数的部分零位补偿透镜体系 | 第39-57页 |
| ·非球面度及非球面的法线像差 | 第39-43页 |
| ·非球面度 | 第39-42页 |
| ·非球面的法线像差 | 第42-43页 |
| ·非零位干涉检测的多约束部分零位补偿透镜设计 | 第43-51页 |
| ·部分零位镜设计的约束控制 | 第44-46页 |
| ·初始结构的选择 | 第46-50页 |
| ·部分零位镜设计实例 | 第50-51页 |
| ·系列化部分零位透镜体系实现非球面通用化检测 | 第51-55页 |
| ·单个部分零位镜的补偿能力 | 第51-53页 |
| ·系列化部分零位镜体系的建立 | 第53-55页 |
| ·小结 | 第55-57页 |
| 第三章 非球面非零位干涉检测的原理误差分析与初级校正 | 第57-73页 |
| ·传统非零干涉检测位相处理方法 | 第57-58页 |
| ·非零位非球面干涉检测中的原理误差分析 | 第58-65页 |
| ·轴向误差 | 第61-63页 |
| ·坐标径向剪切误差 | 第63-64页 |
| ·具有面形缺陷的非球面非零位检测的回程误差分析 | 第64-65页 |
| ·非零位非球面干涉检测中原理误差的初级校正 | 第65-71页 |
| ·初级校正原理 | 第66-68页 |
| ·回程误差初级校正实验 | 第68-70页 |
| ·初级校正讨论及误差分析 | 第70-71页 |
| ·小结 | 第71-73页 |
| 第四章 通用、数字化非球面检测逆向迭代优化重构计算技术 | 第73-99页 |
| ·非球面逆向迭代优化位相重构基本原理 | 第73-75页 |
| ·非球面逆向迭代优化重构技术理论 | 第75-86页 |
| ·光学元件波面的频率 | 第76-78页 |
| ·Zernike多项式拟合频域分析 | 第78-82页 |
| ·非球面逆向迭代优化面形重构计算技术模型 | 第82-85页 |
| ·波面函数残差的处理 | 第85-86页 |
| ·非球面逆向迭代优化重构技术计算机仿真 | 第86-94页 |
| ·旋转对称非球面理想检测系统仿真 | 第86-91页 |
| ·确知参数的实际非球面检测系统仿真 | 第91-94页 |
| ·高次非球面检测系统计算机仿真 | 第94-96页 |
| ·自由曲面检测系统计算机仿真 | 第96-98页 |
| ·小结 | 第98-99页 |
| 第五章 非球面通用、数字化干涉检测系统方案确定、系统建模及建模误差分析 | 第99-139页 |
| ·基本干涉检测原理的选择 | 第99-101页 |
| ·干涉调制方式的选择 | 第101-105页 |
| ·移相干涉技术 | 第102-103页 |
| ·线性载波干涉技术 | 第103-104页 |
| ·环形载波干涉技术 | 第104-105页 |
| ·成像方式的选择 | 第105-110页 |
| ·物像共轭 | 第105-106页 |
| ·非球面通用化检测系统中的直接成像 | 第106-107页 |
| ·非球面通用化检测系统中的间接成像 | 第107-108页 |
| ·非球面通用化检测系统中的远心成像 | 第108-110页 |
| ·非球面通用、数字化高精度干涉检测系统总体方案确定 | 第110-112页 |
| ·非球面通用、数字化高精度干涉检测系统光路布局 | 第110-111页 |
| ·系统输出参量及检测能力 | 第111-112页 |
| ·非球面通用、数字化高精度干涉检测系统模型 | 第112-114页 |
| ·非球面通用、数字化检测系统误差分析 | 第114-136页 |
| ·间隔建模误差 | 第115-124页 |
| ·面形建模误差 | 第124-130页 |
| ·折射率建模误差 | 第130-132页 |
| ·姿态建模误差 | 第132-135页 |
| ·干涉图位相解调误差 | 第135-136页 |
| ·小结 | 第136-139页 |
| 第六章 非球面通用、数字化干涉检测系统实验及误差分析 | 第139-159页 |
| ·非球面通用、数字化检测系统实验布局 | 第139-146页 |
| ·部分零位镜与非球面间隔的精确定位 | 第146-152页 |
| ·通用、数字化非球面检测实验结果及误差分析 | 第152-157页 |
| ·通用、数字化非球面检测实验结果 | 第152-155页 |
| ·通用、数字化非球面检测实验误差分析 | 第155-157页 |
| ·小结 | 第157-159页 |
| 第七章 总结与展望 | 第159-165页 |
| ·本论文所完成的工作 | 第159-161页 |
| ·本文的主要创新点 | 第161页 |
| ·本通用、数字化非球面检测系统的可改进之处 | 第161-163页 |
| ·结束语 | 第163-165页 |
| 参考文献 | 第165-175页 |
| 作者简历及攻读博士学位期间所取得的科研成果 | 第175-179页 |
| 一、作者简历 | 第175页 |
| 二、发表及录用的论文 | 第175-178页 |
| 三、申请及授权的国家发明专利 | 第178-179页 |
| 四、参加的学术交流活动 | 第179页 |
